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wj0702114081

金虫 (正式写手)

学神的奴隶

[求助] XRD结果分析求助 已有5人参与

我最近在一个二氧化硅衬底上沉积了一层薄膜。
这个是二氧化硅衬底的XRD结果。
XRD结果分析求助
从这个图是不是就能说明我的衬底是非晶的?
我之前在其他帖子里看,XRD里,这样的馒头峰实际上表明样品就是非晶的,这种说法对不对?
小弟不太熟XRD的内容,求各位虫友交流。
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Running is often just a way for a mediocre player to cover up the fact that he can't really play.
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wj0702114081

金虫 (正式写手)

学神的奴隶

引用回帖:
4楼: Originally posted by xiejf at 2014-08-27 18:12:17
应该是非晶,可能是因为薄膜太薄了

我帖子没写清楚。。。
实际上这个样品是硅衬底,然后上面是二氧化硅做的微米尺寸的结构,二氧化硅的厚度是2微米。
也就是说,这个XRD图扫的东西,可能是硅和二氧化硅,也就是说应该是非晶的吧?
主要的问题是,我以前没看过非晶的峰长什么样,所以想问下,是不是看到长这个样子的峰,就可以判断非晶。
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5楼2014-08-27 19:12:37
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huang1987

木虫 (著名写手)

金属有机之烂漫小猪

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
是晶型的,只是晶型不好,可以看到明显的峰。
有爱才有希望!
2楼2014-08-27 15:36:30
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wj0702114081

金虫 (正式写手)

学神的奴隶

引用回帖:
2楼: Originally posted by huang1987 at 2014-08-27 15:36:30
是晶型的,只是晶型不好,可以看到明显的峰。

是晶型的是不是就一定有一个对应的晶向?
这个应该是二氧化硅的峰。因为我的样品下面一层是硅,然后上边是一层2微米厚的二氧化硅薄膜,然后采用掠入射方式测量的XRD,应该是测不到衬底硅的信息的。
按说二氧化硅不是非晶体吗?为什么会有晶向呢?
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3楼2014-08-27 16:41:01
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xiejf

专家顾问 (文学泰斗)

麦麦爸爸爱小牛

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
wj0702114081: 金币+1, ★★★很有帮助 2014-08-29 19:13:01
应该是非晶,可能是因为薄膜太薄了
麦麦爸爸爱小牛
4楼2014-08-27 18:12:17
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