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志士明君金虫 (正式写手)
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磁控溅射如何制备氮化硅Si3N4
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| 磁控溅射射频制备氮化硅Si3N4，如何控制氩气与氮气的比例或流量，制得Si3N4。再者，我已摸索溅射了10个样，如何确定生成的便是Si3N4。我做了XRD，寻Si3N4的谱图。求各位大神指导 |
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谷小玄
铁杆木虫 (正式写手)
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2楼2014-08-22 08:56:17
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