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linus81

金虫 (初入文坛)

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[交流] XPS倒底能做什么?

遇到两个博导,一个说XPS只能定性,不能定量.另外一个把XPS的peak table里的C原子所占比例作为催化剂的积碳量.我很困惑,倒底XPS能说明什么?

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1楼 2008-04-13 15:47:16

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ElectroWang

铜虫 (小有名气)

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专业: 常微分方程与动力系统

★ ★ ★
nxl5096224(金币+3,VIP+0):3Q!谢谢分享！

Analysis times:

1–10 minutes for a survey scan that measures the amount of all elements, 1–10 minutes for high energy resolution scans that reveal chemical state differences, 1–4 hours for a depth profile that measures 4–5 elements as a function of etched depth (usual final depth is 1,000 nm)

[edit] Detection limits
0.1–1.0 atom % (0.1 atom% = 1 part per thousand = 1,000 ppm). Ultimate detection limit for most elements is approximately 100 ppm, which requires 8–16 hours.)