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jyhit金虫 (小有名气)
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[求助]
怎么控制化学气相沉积 膜的成分 已有1人参与
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| 我现在用CVD方法沉积薄膜，薄膜有两种元素A，B, 我分别用含有A和B成分的两种气体通入反应室进行沉积。 最后得到的膜的成分总是A的含量比B含量高很多，成分不均匀导致薄膜的结构达不到我想要的效果。即使我通入的含有B元素的气体流量远大于A气体，结果还是A含量大于B含量。什么原因会造成这种情况？是A元素更容易吸附吗？薄膜沉积过程应该没有化学反应，因为我用了热灯丝，气体已经被分解了。利用热灯丝辅助沉积得到了只含有A,B成分的薄膜，但是A,B元素比例不对。 有没有什么方法可以解决。跪求高手指教。万分感谢。 |
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xiejf
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