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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 复合材料 » 制备成型 » 怎么控制化学气相沉积 膜的成分
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jyhit

金虫 (小有名气)

[求助] 怎么控制化学气相沉积 膜的成分 已有1人参与

我现在用CVD方法沉积薄膜，薄膜有两种元素A，B, 我分别用含有A和B成分的两种气体通入反应室进行沉积。 最后得到的膜的成分总是A的含量比B含量高很多，成分不均匀导致薄膜的结构达不到我想要的效果。即使我通入的含有B元素的气体流量远大于A气体，结果还是A含量大于B含量。什么原因会造成这种情况？是A元素更容易吸附吗？薄膜沉积过程应该没有化学反应，因为我用了热灯丝，气体已经被分解了。利用热灯丝辅助沉积得到了只含有A,B成分的薄膜，但是A,B元素比例不对。 有没有什么方法可以解决。跪求高手指教。万分感谢。
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1楼 2014-08-18 15:47:06
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我叫棉花糖

金虫 (正式写手)

博士
气相沉积稳定性是个大问题
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夏花秋叶
2楼2014-08-18 16:43:38
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xiejf

专家顾问 (文学泰斗)

麦麦爸爸爱小牛

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
不好一概而论 还要自己去摸索条件的
赞一下 回复此楼
麦麦爸爸爱小牛
3楼2014-08-19 13:30:48
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