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CVD法合成碳纳米管薄膜 已有5人参与
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先用磁控溅射在蓝宝石基底上溅射了一层Ni。 然后放入管式炉CVD中，Ar为保护气体，流量120sccm。 先在500摄氏度还原40min，氢气流量为10sccm。 然后升到800摄氏度生长，甲烷流量10sccm，Ar120sccm，氢气10sccm，生长一个小时。 都是常压下进行的。 请问各位高手，为什么蓝宝石基底上没有碳纳米管生成呢？ |
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