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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】关于磁控溅射
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zxr20786

木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】关于磁控溅射

我现在用的是沈阳科友的磁控溅射镀膜仪，现在直流靶坏了，想用射频靶来换直流靶，但不知道直流靶和射频靶在内部结构上有什么区别，如果简单的改装电源输入接口有用吗，希望了解这设备的同行帮忙？

[ Last edited by zt970831 on 2008-4-18 at 18:49 ]
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1楼 2008-04-05 10:50:53
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nini_chen

银虫 (小有名气)
★ ★ ★
zt970831(金币+3,VIP+0):感谢您的交流：）
楼主好像对磁控溅射不是很了解，靶本身不分直流靶和射频靶。磁控溅射靶都是一样的，之所以有直流、射频还有中频，是从电源上来分的，直流电源只能用来溅射导电靶材，而射频则绝缘不绝缘都可以溅射，一般而言射频的膜层质量好，但是缺点是效率低，直流相对质量差，但效率高，目前发展较为迅速的是中频溅射，膜层质量较直流好。楼主用直流不能起辉有很多原因，第一、磁铁消磁，这就需要给磁铁充磁或更换磁铁；第二、你做氮化钛，靶材中毒了，或者说中毒很严重。之所以射频能起辉，是因为，射频对化合物仍能溅射，而且没有磁场也能起辉。希望对你有作用！
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6楼2008-06-02 14:57:58
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元小雪

木虫 (职业作家)
★
zt970831(金币+1,VIP+0):谢谢您的建议
zt970831(金币+0,VIP+0):有空的话去应助专贴跟个帖，以后好把你应助的链接编辑过去
接口能不能换我不知道,不过,我想你是做光学薄膜的吧,用直流得到的质量不好,去修一下划算些
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无聊的博士
2楼2008-04-05 11:38:20
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zhouliang768

★
zt970831(金币+1,VIP+0):谢谢您的建议
沈阳科友的老板是不是叫渠红波？
我们这里也有一台他们的真空设备，买过来三年多了，一直没用过；不是不能用，是不好用，设计得很不合理。
直流靶和射频靶最好不要随便换，联系厂家，他们应该负责的，不用花钱如果你谈的好。希望你们的仪器购买时没拿回扣，否则的话恐怕谈不拢。
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3楼2008-04-05 13:13:23
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hollybed

木虫 (正式写手)
★
lvzhu2007(金币+1,VIP+0):感谢交流，欢迎常来物理版
你是靶材坏了还是电源坏了？
直流一般镀电阻较小的材料，射频镀电阻大的
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4楼2008-04-05 16:37:52
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