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zxr20786

木虫 (正式写手)

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[交流] 【求助】关于磁控溅射

我现在用的是沈阳科友的磁控溅射镀膜仪，现在直流靶坏了，想用射频靶来换直流靶，但不知道直流靶和射频靶在内部结构上有什么区别，如果简单的改装电源输入接口有用吗，希望了解这设备的同行帮忙？

[ Last edited by zt970831 on 2008-4-18 at 18:49 ]

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1楼 2008-04-05 10:50:53

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nini_chen

银虫 (小有名气)

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★ ★ ★
zt970831(金币+3,VIP+0):感谢您的交流：）

楼主好像对磁控溅射不是很了解，靶本身不分直流靶和射频靶。磁控溅射靶都是一样的，之所以有直流、射频还有中频，是从电源上来分的，直流电源只能用来溅射导电靶材，而射频则绝缘不绝缘都可以溅射，一般而言射频的膜层质量好，但是缺点是效率低，直流相对质量差，但效率高，目前发展较为迅速的是中频溅射，膜层质量较直流好。楼主用直流不能起辉有很多原因，第一、磁铁消磁，这就需要给磁铁充磁或更换磁铁；第二、你做氮化钛，靶材中毒了，或者说中毒很严重。之所以射频能起辉，是因为，射频对化合物仍能溅射，而且没有磁场也能起辉。希望对你有作用！