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zxr20786木虫 (正式写手)
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[交流]
【求助】关于磁控溅射
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我现在用的是沈阳科友的磁控溅射镀膜仪，现在直流靶坏了，想用射频靶来换直流靶，但不知道直流靶和射频靶在内部结构上有什么区别，如果简单的改装电源输入接口有用吗，希望了解这设备的同行帮忙？ [ Last edited by zt970831 on 2008-4-18 at 18:49 ] |
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3楼2008-04-05 13:13:23
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5楼2008-04-05 19:06:44