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zxr20786

木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】关于磁控溅射

我现在用的是沈阳科友的磁控溅射镀膜仪,现在直流靶坏了,想用射频靶来换直流靶,但不知道直流靶和射频靶在内部结构上有什么区别,如果简单的改装电源输入接口有用吗,希望了解这设备的同行帮忙?

[ Last edited by zt970831 on 2008-4-18 at 18:49 ]
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hollybed

木虫 (正式写手)


lvzhu2007(金币+1,VIP+0):感谢交流,欢迎常来物理版
你是靶材坏了还是电源坏了?
直流一般镀电阻较小的材料,射频镀电阻大的
4楼2008-04-05 16:37:52
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元小雪

木虫 (职业作家)


zt970831(金币+1,VIP+0):谢谢您的建议
zt970831(金币+0,VIP+0):有空的话去应助专贴跟个帖,以后好把你应助的链接编辑过去
接口能不能换我不知道,不过,我想你是做光学薄膜的吧,用直流得到的质量不好,去修一下划算些
无聊的博士
2楼2008-04-05 11:38:20
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zhouliang768


zt970831(金币+1,VIP+0):谢谢您的建议
沈阳科友的老板是不是叫渠红波?
我们这里也有一台他们的真空设备,买过来三年多了,一直没用过;不是不能用,是不好用,设计得很不合理。
直流靶和射频靶最好不要随便换,联系厂家,他们应该负责的,不用花钱如果你谈的好。希望你们的仪器购买时没拿回扣,否则的话恐怕谈不拢。
3楼2008-04-05 13:13:23
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zxr20786

木虫 (正式写手)

★ ★
lvzhu2007(金币+2,VIP+0):感谢交流,欢迎常来物理版
是那个渠洪波的,还来过一次这里,唉,这设备啊,老是出问题我,我现在做的是TiN薄膜,做出来性能不好,用射频靶又做不出来,只能用直流靶,而现在直流靶也第二次坏了,就是起不了辉,不是靶材的问题,就是直流靶的磁铁没磁了,玩了一年这个实备了,这个问题一找就清楚,而射频靶是好的,我就想能不能把射频电源换成直流电源来做,不徉有没有这方面的同行。多谢了
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5楼2008-04-05 19:06:44
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