应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 湿法刻蚀teflon表面上AL的问题
51/1返回列表
查看: 1832  |  回复: 11
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

just896

新虫 (初入文坛)

[求助] 湿法刻蚀teflon表面上AL的问题 已有2人参与

本人在FTO膜上做了一层100nm左右的teflon， contact angle为120度左右。然后在teflon上面用evaporate了厚度为150nm的铝以便进行下一步光刻。
当我用85% phosphoric acid： nitric acid： acetic acid=15:4:1 的腐蚀液刻蚀后，表面完全变为亲水，但依然保持导电（电阻值与本来无异），代表Teflon失效或随铝消失。

teflon很稳定，我曾经检验过没有evaporate铝前泡在以上腐蚀液中1h 完全没影响。为何evaporate铝再etch就会如此呢？不知道各位大神对此有何见解？

在此恳请大家帮忙，不胜感激！
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2014-07-21 18:25:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

眼镜片1

银虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
8楼: Originally posted by just896 at 2014-07-24 12:26:12
有方法避免么?
...

不清楚你具体要做什么  所以也没法给具体的建议  我只是做界面润湿的  对微机械系统不了解
赞一下 回复此楼
10楼2014-07-24 12:36:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 12 个回答

exciting73

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
是否蒸镀时的加热温度会对Teflon膜有影响？另外还有光刻步骤对Teflon膜是否有影响？把这些因素考虑进去看看
赞一下 回复此楼
2楼2014-07-22 19:44:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

just896

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by exciting73 at 2014-07-22 19:44:23
是否蒸镀时的加热温度会对Teflon膜有影响？另外还有光刻步骤对Teflon膜是否有影响？把这些因素考虑进去看看

蒸镀是用e-beam evaporation做的，温度不高，对于teflon来说是可以承受的。
我用只镀了铝没光刻的样做了etching，也是同样的效果，应该说明光刻没有影响。

不知道是否是因为腐蚀的时候太剧烈，热应力和起泡对膜有破坏性作用?

[ 发自小木虫客户端 ]
赞一下 回复此楼
3楼2014-07-22 19:57:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

exciting73

金虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by just896 at 2014-07-22 19:57:12
蒸镀是用e-beam evaporation做的，温度不高，对于teflon来说是可以承受的。
我用只镀了铝没光刻的样做了etching，也是同样的效果，应该说明光刻没有影响。

不知道是否是因为腐蚀的时候太剧烈，热应力和起泡对膜 ...

主要是蒸镀对Teflon与FTO膜之间的附着力有没有影响？另外Teflon膜完全没有了吗？
可以考虑下稀释腐蚀液。
赞一下 回复此楼
4楼2014-07-23 09:16:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 12 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 今天务委会开完了，明天出结果吗 +17 angus9576 2026-08-25 21/1050 2026-08-25 22:39 by 悠悠美女
[基金申请] 在坚冰还盖着北海的时候，我看到了怒放的梅花。 (金币+10) +6 ziyangfang 2026-08-25 9/450 2026-08-25 20:26 by huagongfeihu
[基金申请] 有没有大神帮我看看基金代码 28+4 1234567wang 2026-08-24 10/500 2026-08-25 19:15 by lfy8008
[基金申请] 某些机构，以效率低为荣，以效率低作为存在感 +9 yuleib84 2026-08-25 10/500 2026-08-25 17:14 by alexon
[基金申请] 2026国自然函评费到账 +20 羊腰板 2026-08-21 23/1150 2026-08-25 16:34 by zsna
[基金申请] 今日不放榜？网传国自然预计 8 月 27 日可查结果 +17 医学老男孩 2026-08-20 22/1100 2026-08-25 15:36 by 医学老男孩
[基金申请] 如果此刻你正在为国基感到焦虑，不妨来听听这首《基金之外》 +8 scalable 2026-08-24 8/400 2026-08-25 12:52 by jnhyjjm
[教师之家] 导师吐槽：我怎么摊上了这么个极品研究生！ +3 苏东坡二世 2026-08-23 3/150 2026-08-25 10:35 by shisan1313
[基金申请] 今天基金会出结果吗？20260819 +17 kkkl_v 2026-08-19 18/900 2026-08-25 09:41 by windflowerwy
[基金申请] 范进中举一文的中心思想 +7 炎黄贵胄 2026-08-22 8/400 2026-08-25 08:48 by ZJTJZ
[基金申请] 只有每年这种时候来逛逛小木虫 +25 yaoyewhu2008 2026-08-20 27/1350 2026-08-25 08:01 by Equinoxhua
[基金申请] filecode，4个jtjc了 +14 ziyangfang 2026-08-19 17/850 2026-08-24 18:37 by 哈哈蛤？
[基金申请] 建议基金发布提前给出明确的时间点 +13 kulium 2026-08-21 16/800 2026-08-24 16:27 by superceng
[基金申请] 今天放榜吗？ +15 布布和一二 2026-08-19 16/800 2026-08-23 09:55 by 张春生
[基金申请] 时间戳今天，20号变了 +5 archvillain 2026-08-20 5/250 2026-08-22 06:12 by hui_daxiao
[基金申请] 看来今天不会放榜了？ +8 chengyan1220 2026-08-21 11/550 2026-08-21 17:52 by dcqxinyang
[基金申请] 时间戳又变了 +13 wuchongjun 2026-08-20 19/950 2026-08-21 17:21 by 紫杉醇
[基金申请] 应该是下周三26日公布了吧？ +4 哈哈蛤？ 2026-08-21 4/200 2026-08-21 10:58 by Vivilian
[基金申请] 今天放榜没戏了吧 +9 yuleib84 2026-08-19 11/550 2026-08-21 10:06 by gltch
[基金申请] 基金啊基金 +4 longfie172 2026-08-20 4/200 2026-08-21 08:58 by mark mao
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭