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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 关于离子束注入掺杂
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静雅思听314

铁杆木虫 (正式写手)

[交流] 关于离子束注入掺杂 已有1人参与

哪位用过离子束注入做掺杂？我用镀完膜的样品做注入，为什么注不进去，真空度也够了，之前都能注进去，这次就不行了
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1楼 2014-07-21 10:48:13
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ajjcoo

木虫 (正式写手)
★
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检查你的真空度，能量，注入时间，剂量。考虑你还有一层镀膜，那就是保护层了，是不是太厚了？

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多情自古伤离别。更那堪、冷落清秋节。
2楼2014-07-21 12:27:34
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静雅思听314

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by ajjcoo at 2014-07-21 12:27:34
检查你的真空度，能量，注入时间，剂量。考虑你还有一层镀膜，那就是保护层了，是不是太厚了？

膜厚70nm,注完了还是绝缘体，是不是注的太深，，，
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3楼2014-07-22 08:46:26
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ajjcoo

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by 静雅思听314 at 2014-07-22 08:46:26
膜厚70nm,注完了还是绝缘体，是不是注的太深，，，...

如果方便做一个断面分析可以看看断面的颜色是否有变化，就算是注入太深有了掺杂可以看做为导体了，可以测试一下注入前注入后的电阻。70nm不厚，是氧化层吗？如果是的话注入肯定没有问题，那就再检查注入条件了。不然只有减薄再试试

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多情自古伤离别。更那堪、冷落清秋节。
4楼2014-07-22 10:53:56
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静雅思听314

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by ajjcoo at 2014-07-22 10:53:56
如果方便做一个断面分析可以看看断面的颜色是否有变化，就算是注入太深有了掺杂可以看做为导体了，可以测试一下注入前注入后的电阻。70nm不厚，是氧化层吗？如果是的话注入肯定没有问题，那就再检查注入条件了。不 ...

恩是氧化层，现在退火，看看退火后怎么样，thankyou
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5楼2014-07-22 15:56:07
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