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静雅思听314

铁杆木虫 (正式写手)

[交流] 关于离子束注入掺杂 已有1人参与

哪位用过离子束注入做掺杂?我用镀完膜的样品做注入,为什么注不进去,真空度也够了,之前都能注进去,这次就不行了
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ajjcoo

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
检查你的真空度,能量,注入时间,剂量。考虑你还有一层镀膜,那就是保护层了,是不是太厚了?

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多情自古伤离别。更那堪、冷落清秋节。
2楼2014-07-21 12:27:34
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静雅思听314

铁杆木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by ajjcoo at 2014-07-21 12:27:34
检查你的真空度,能量,注入时间,剂量。考虑你还有一层镀膜,那就是保护层了,是不是太厚了?

膜厚70nm,注完了还是绝缘体,是不是注的太深,,,
3楼2014-07-22 08:46:26
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ajjcoo

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by 静雅思听314 at 2014-07-22 08:46:26
膜厚70nm,注完了还是绝缘体,是不是注的太深,,,...

如果方便做一个断面分析可以看看断面的颜色是否有变化,就算是注入太深有了掺杂可以看做为导体了,可以测试一下注入前注入后的电阻。70nm不厚,是氧化层吗?如果是的话注入肯定没有问题,那就再检查注入条件了。不然只有减薄再试试

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多情自古伤离别。更那堪、冷落清秋节。
4楼2014-07-22 10:53:56
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静雅思听314

铁杆木虫 (正式写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by ajjcoo at 2014-07-22 10:53:56
如果方便做一个断面分析可以看看断面的颜色是否有变化,就算是注入太深有了掺杂可以看做为导体了,可以测试一下注入前注入后的电阻。70nm不厚,是氧化层吗?如果是的话注入肯定没有问题,那就再检查注入条件了。不 ...

恩是氧化层,现在退火,看看退火后怎么样,thankyou
5楼2014-07-22 15:56:07
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