应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 交流探讨 » 用PLD镀膜的朋友请进来探讨一下！
81/1返回列表
查看: 529  |  回复: 7
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前主题已经存档。
【有奖交流】积极回复本帖子，参与交流，就有机会分得作者 enquan123 的 7 个金币

enquan123

金虫 (著名写手)

[交流] 用PLD镀膜的朋友请进来探讨一下！

用PLD镀膜的朋友请进来探讨一下！

我是一名普通的本科生，在做毕业设计，做的是用PLD镀外延膜，在做实验的过

程中发现在衬底的边缘有一整圈麻麻点点的疑是薄膜的东西，请问产生这种现象

的原因可能有哪些？该怎么解决？

注：膜的成分中有部分易挥发的元素！
回复此楼

» 猜你喜欢
No matter what I do,I always forget to forget you...
1楼 2008-04-04 21:53:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hsbchsbc

木虫 (正式写手)
★ ★
SHY31(金币+1,VIP+0):谢谢关注材料版
enquan123(金币+1,VIP+0):谢谢！有什么好的建议还望不吝赐教哦！！
那是不是有易挥发的成分析出，膜的实际组成已经发生变化。做ｘｒｄ看看，或者看看界面用ｓｅｍ
赞一下(12人) 回复此楼
2楼2008-04-05 04:14:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hanchengxi

新虫 (初入文坛)
★
enquan123(金币+1,VIP+0):谢谢！有什么好的建议还望不吝赐教哦！！
引用回帖:
Originally posted by hsbchsbc at 2008-4-5 04:14:
那是不是有易挥发的成分析出，膜的实际组成已经发生变化。做ｘｒｄ看看，或者看看界面用ｓｅｍ

差不多就是这样了
赞一下(2人) 回复此楼
3楼2008-04-05 10:53:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

miloyy

木虫 (正式写手)
★
enquan123(金币+1,VIP+0):谢谢！有什么好的建议还望不吝赐教哦！！
为什么只在衬底边缘出现呢，其他地方呢
赞一下(2人) 回复此楼
4楼2008-04-05 20:56:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

enquan123

金虫 (著名写手)
引用回帖:
Originally posted by miloyy at 2008-4-5 20:56:
为什么只在衬底边缘出现呢，其他地方呢

正解，这是主要的问题，XRD显示主要为膜成分的峰，但是含有杂相，而且有的衬底上周围没有显示麻点，是什么原因呢，镀膜的各种条件都相同。
赞一下 回复此楼
No matter what I do,I always forget to forget you...
5楼2008-04-06 20:28:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

miloyy

木虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by enquan123 at 2008-4-6 20:28:



正解，这是主要的问题，XRD显示主要为膜成分的峰，但是含有杂相，而且有的衬底上周围没有显示麻点，是什么原因呢，镀膜的各种条件都相同。

没有麻点的膜有杂相峰吗，或着比例较少？因为你必须先确认杂相峰是否来源于那些麻点。

还有你用的衬底是否太大，造成边缘部分成分（或是温度？)已经有了偏差
赞一下 回复此楼
6楼2008-04-06 22:07:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

enquan123

金虫 (著名写手)
引用回帖:
Originally posted by miloyy at 2008-4-6 22:07:


没有麻点的膜有杂相峰吗，或着比例较少？因为你必须先确认杂相峰是否来源于那些麻点。

还有你用的衬底是否太大，造成边缘部分成分（或是温度？)已经有了偏差

首先谢谢您的回答！

其他衬底上的膜周围完全没有麻点，而且也不能确定杂相就是麻点的峰，因为没有麻点的膜也会出现除膜以外的杂峰； 还有，所用的衬底尺寸很小（1mm*3.5mm）的单晶衬底，所以基本上不会出现您所说的温度差异的问题。

再次谢谢您的回复！！
赞一下 回复此楼
No matter what I do,I always forget to forget you...
7楼2008-04-06 22:39:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

miloyy

木虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by enquan123 at 2008-4-6 22:39:



首先谢谢您的回答！

其他衬底上的膜周围完全没有麻点，而且也不能确定杂相就是麻点的峰，因为没有麻点的膜也会出现除膜以外的杂峰； 还有，所用的衬底尺寸很小（1mm*3.5mm）的单晶衬底，所以基本上不会出 ...

这样我也不知道什么原因了，不过既然你的膜还有杂峰，说明你的参数还没有最优化，所以你还是得调节参数看看效果如何
赞一下 回复此楼
8楼2008-04-06 23:16:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 enquan123 的主题更新
81/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 药学305求调剂 +6 玛卡巴卡boom 2026-04-10 6/300 2026-04-11 21:04 by 逆水乘风
[考研] 考研求调剂 +3 ban班小七 2026-04-11 3/150 2026-04-11 20:48 by may_新宇
[考研] 343求调剂 +9 王国帅 2026-04-10 9/450 2026-04-11 20:31 by dongdian1
[考研] 计算机22408 281分，求调剂 +5 17715607211 2026-04-06 5/250 2026-04-11 20:23 by dongdian1
[考研] 调剂 +5 文道星台 2026-04-11 5/250 2026-04-11 15:01 by 凯凯要变帅
[基金申请] 山东省基金2026 +4 jerry681 2026-04-08 5/250 2026-04-11 13:59 by laobibibi
[考研] 347求调剂 +3 mhyqyy 2026-04-06 3/150 2026-04-11 12:19 by zhq0425
[考研] 316求调剂 +4 想读研究生( ?∵ 2026-04-07 4/200 2026-04-11 11:43 by zhq0425
[考研] 086000调剂 +5 十七sa 2026-04-07 5/250 2026-04-11 10:38 by 紫曦紫棋
[考研] 生物学调剂 可调剂到生物与医药 +8 李政莹 2026-04-06 9/450 2026-04-11 10:36 by wwj2530616
[考研] 085410-273求调剂 +6 X1999 2026-04-10 6/300 2026-04-11 10:32 by Delta2012
[考研] 288求调剂 +15 代fish 2026-04-09 16/800 2026-04-11 10:26 by wwj2530616
[考研] 材料与化工调剂 10+11 下一站上岸@ 2026-04-10 36/1800 2026-04-11 10:26 by 89436494
[考研] 调剂 +12 卷卷卷心菜_ 2026-04-09 13/650 2026-04-10 22:36 by Ftglcn90
[考研] 吉大计算机技术331分，英语六级，求调剂 +3 峰峰021116 2026-04-09 3/150 2026-04-10 20:01 by chemisry
[考研] 314求调剂 +18 xhhdjdjsjks 2026-04-09 19/950 2026-04-10 18:53 by HPUCZ
[考研] 一志愿京区985，085401，与本科专业一致，电子信息工程， +4 阳光开朗的男孩 2026-04-10 4/200 2026-04-10 18:27 by shenrf
[考研] 一志愿华东师范生物学326分，求调剂 +8 刘墨墨 2026-04-09 8/400 2026-04-10 12:00 by pengliang8036
[考研] 材料与化工371求调剂 +17 陪琳看海 2026-04-04 18/900 2026-04-10 07:51 by 314126402
[考研] 求助 +3 卡卡东88 2026-04-06 4/200 2026-04-06 15:28 by going home
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭