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enquan123

金虫 (著名写手)

[交流] 用PLD镀膜的朋友请进来探讨一下!

用PLD镀膜的朋友请进来探讨一下!

我是一名普通的本科生,在做毕业设计,做的是用PLD镀外延膜,在做实验的过

程中发现在衬底的边缘有一整圈麻麻点点的疑是薄膜的东西,请问产生这种现象

的原因可能有哪些?该怎么解决?

注:膜的成分中有部分易挥发的元素!
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No matter what I do,I always forget to forget you...
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hsbchsbc

木虫 (正式写手)

★ ★
SHY31(金币+1,VIP+0):谢谢关注材料版
enquan123(金币+1,VIP+0):谢谢!有什么好的建议还望不吝赐教哦!!
那是不是有易挥发的成分析出,膜的实际组成已经发生变化。做xrd看看,或者看看界面用sem
2楼2008-04-05 04:14:30
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hanchengxi

新虫 (初入文坛)


enquan123(金币+1,VIP+0):谢谢!有什么好的建议还望不吝赐教哦!!
引用回帖:
Originally posted by hsbchsbc at 2008-4-5 04:14:
那是不是有易挥发的成分析出,膜的实际组成已经发生变化。做xrd看看,或者看看界面用sem

差不多就是这样了
3楼2008-04-05 10:53:06
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miloyy

木虫 (正式写手)


enquan123(金币+1,VIP+0):谢谢!有什么好的建议还望不吝赐教哦!!
为什么只在衬底边缘出现呢,其他地方呢
4楼2008-04-05 20:56:39
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enquan123

金虫 (著名写手)

引用回帖:
Originally posted by miloyy at 2008-4-5 20:56:
为什么只在衬底边缘出现呢,其他地方呢

正解,这是主要的问题,XRD显示主要为膜成分的峰,但是含有杂相,而且有的衬底上周围没有显示麻点,是什么原因呢,镀膜的各种条件都相同。
No matter what I do,I always forget to forget you...
5楼2008-04-06 20:28:34
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miloyy

木虫 (正式写手)

引用回帖:
Originally posted by enquan123 at 2008-4-6 20:28:



正解,这是主要的问题,XRD显示主要为膜成分的峰,但是含有杂相,而且有的衬底上周围没有显示麻点,是什么原因呢,镀膜的各种条件都相同。

没有麻点的膜有杂相峰吗,或着比例较少?因为你必须先确认杂相峰是否来源于那些麻点。

还有你用的衬底是否太大,造成边缘部分成分(或是温度?)已经有了偏差
6楼2008-04-06 22:07:31
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enquan123

金虫 (著名写手)

引用回帖:
Originally posted by miloyy at 2008-4-6 22:07:


没有麻点的膜有杂相峰吗,或着比例较少?因为你必须先确认杂相峰是否来源于那些麻点。

还有你用的衬底是否太大,造成边缘部分成分(或是温度?)已经有了偏差

首先谢谢您的回答!

其他衬底上的膜周围完全没有麻点,而且也不能确定杂相就是麻点的峰,因为没有麻点的膜也会出现除膜以外的杂峰; 还有,所用的衬底尺寸很小(1mm*3.5mm)的单晶衬底,所以基本上不会出现您所说的温度差异的问题。

再次谢谢您的回复!!
No matter what I do,I always forget to forget you...
7楼2008-04-06 22:39:16
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miloyy

木虫 (正式写手)

引用回帖:
Originally posted by enquan123 at 2008-4-6 22:39:



首先谢谢您的回答!

其他衬底上的膜周围完全没有麻点,而且也不能确定杂相就是麻点的峰,因为没有麻点的膜也会出现除膜以外的杂峰; 还有,所用的衬底尺寸很小(1mm*3.5mm)的单晶衬底,所以基本上不会出 ...

这样我也不知道什么原因了,不过既然你的膜还有杂峰,说明你的参数还没有最优化,所以你还是得调节参数看看效果如何
8楼2008-04-06 23:16:01
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