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用PLD镀膜的朋友请进来探讨一下!
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用PLD镀膜的朋友请进来探讨一下! 我是一名普通的本科生,在做毕业设计,做的是用PLD镀外延膜,在做实验的过 程中发现在衬底的边缘有一整圈麻麻点点的疑是薄膜的东西,请问产生这种现象 的原因可能有哪些?该怎么解决? 注:膜的成分中有部分易挥发的元素! |
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