[交流] 用PLD镀膜的朋友请进来探讨一下！

Originally posted by hsbchsbc at 2008-4-5 04:14:
那是不是有易挥发的成分析出，膜的实际组成已经发生变化。做ｘｒｄ看看，或者看看界面用ｓｅｍ

Originally posted by miloyy at 2008-4-5 20:56:
为什么只在衬底边缘出现呢，其他地方呢

Originally posted by enquan123 at 2008-4-6 20:28:



正解，这是主要的问题，XRD显示主要为膜成分的峰，但是含有杂相，而且有的衬底上周围没有显示麻点，是什么原因呢，镀膜的各种条件都相同。

Originally posted by miloyy at 2008-4-6 22:07:


没有麻点的膜有杂相峰吗，或着比例较少？因为你必须先确认杂相峰是否来源于那些麻点。

还有你用的衬底是否太大，造成边缘部分成分（或是温度？)已经有了偏差

Originally posted by enquan123 at 2008-4-6 22:39:



首先谢谢您的回答！

其他衬底上的膜周围完全没有麻点，而且也不能确定杂相就是麻点的峰，因为没有麻点的膜也会出现除膜以外的杂峰； 还有，所用的衬底尺寸很小（1mm*3.5mm）的单晶衬底，所以基本上不会出 ...