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enquan123

金虫 (著名写手)

[交流] 用PLD镀膜的朋友请进来探讨一下！

用PLD镀膜的朋友请进来探讨一下！

我是一名普通的本科生，在做毕业设计，做的是用PLD镀外延膜，在做实验的过

程中发现在衬底的边缘有一整圈麻麻点点的疑是薄膜的东西，请问产生这种现象

的原因可能有哪些？该怎么解决？

注：膜的成分中有部分易挥发的元素！
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No matter what I do,I always forget to forget you...
1楼 2008-04-04 21:53:23
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hsbchsbc

木虫 (正式写手)
★ ★
SHY31(金币+1,VIP+0):谢谢关注材料版
enquan123(金币+1,VIP+0):谢谢！有什么好的建议还望不吝赐教哦！！
那是不是有易挥发的成分析出，膜的实际组成已经发生变化。做ｘｒｄ看看，或者看看界面用ｓｅｍ
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2楼2008-04-05 04:14:30
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hanchengxi

新虫 (初入文坛)
★
enquan123(金币+1,VIP+0):谢谢！有什么好的建议还望不吝赐教哦！！
引用回帖:
Originally posted by hsbchsbc at 2008-4-5 04:14:
那是不是有易挥发的成分析出，膜的实际组成已经发生变化。做ｘｒｄ看看，或者看看界面用ｓｅｍ

差不多就是这样了
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3楼2008-04-05 10:53:06
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miloyy

木虫 (正式写手)
★
enquan123(金币+1,VIP+0):谢谢！有什么好的建议还望不吝赐教哦！！
为什么只在衬底边缘出现呢，其他地方呢
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4楼2008-04-05 20:56:39
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enquan123

金虫 (著名写手)
引用回帖:
Originally posted by miloyy at 2008-4-5 20:56:
为什么只在衬底边缘出现呢，其他地方呢

正解，这是主要的问题，XRD显示主要为膜成分的峰，但是含有杂相，而且有的衬底上周围没有显示麻点，是什么原因呢，镀膜的各种条件都相同。
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No matter what I do,I always forget to forget you...
5楼2008-04-06 20:28:34
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miloyy

木虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by enquan123 at 2008-4-6 20:28:



正解，这是主要的问题，XRD显示主要为膜成分的峰，但是含有杂相，而且有的衬底上周围没有显示麻点，是什么原因呢，镀膜的各种条件都相同。

没有麻点的膜有杂相峰吗，或着比例较少？因为你必须先确认杂相峰是否来源于那些麻点。

还有你用的衬底是否太大，造成边缘部分成分（或是温度？)已经有了偏差
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6楼2008-04-06 22:07:31
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enquan123

金虫 (著名写手)
引用回帖:
Originally posted by miloyy at 2008-4-6 22:07:


没有麻点的膜有杂相峰吗，或着比例较少？因为你必须先确认杂相峰是否来源于那些麻点。

还有你用的衬底是否太大，造成边缘部分成分（或是温度？)已经有了偏差

首先谢谢您的回答！

其他衬底上的膜周围完全没有麻点，而且也不能确定杂相就是麻点的峰，因为没有麻点的膜也会出现除膜以外的杂峰； 还有，所用的衬底尺寸很小（1mm*3.5mm）的单晶衬底，所以基本上不会出现您所说的温度差异的问题。

再次谢谢您的回复！！
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No matter what I do,I always forget to forget you...
7楼2008-04-06 22:39:16
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miloyy

木虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by enquan123 at 2008-4-6 22:39:



首先谢谢您的回答！

其他衬底上的膜周围完全没有麻点，而且也不能确定杂相就是麻点的峰，因为没有麻点的膜也会出现除膜以外的杂峰； 还有，所用的衬底尺寸很小（1mm*3.5mm）的单晶衬底，所以基本上不会出 ...

这样我也不知道什么原因了，不过既然你的膜还有杂峰，说明你的参数还没有最优化，所以你还是得调节参数看看效果如何
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8楼2008-04-06 23:16:01
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