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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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liy9092

新虫 (初入文坛)

[求助] 酸刻蚀钛酸锶薄膜怎么办? 已有1人参与

大家好,我的两个钛酸锶薄膜都是120nm厚,紫外光刻后光刻胶有几微米厚,把两个薄膜分别放进6%和18%的磷酸溶液中刻蚀掉裸露出来的钛酸锶薄膜,但半个小时也没什么效果,因为光刻胶不能长时间在白光中,所以半个小时的这么长时间光刻胶也坏了,我看人家酸刻蚀都是几十秒而已,请问我该怎么办?
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exciting73

金虫 (著名写手)


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liy9092: 金币+5, ★★★很有帮助 2014-07-17 22:21:04
有没有可能显影不彻底,有残胶在表面
2楼2014-07-17 15:01:31
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liy9092

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by exciting73 at 2014-07-17 15:01:31
有没有可能显影不彻底,有残胶在表面

应该是不溶于酸
3楼2014-07-17 22:21:48
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exciting73

金虫 (著名写手)


引用回帖:
3楼: Originally posted by liy9092 at 2014-07-17 22:21:48
应该是不溶于酸...

你不是说别人用酸蚀刻很快嘛?应该有商品化的蚀刻液可以用吧?
4楼2014-07-18 12:37:42
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