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酸刻蚀钛酸锶薄膜怎么办? 已有1人参与
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| 大家好,我的两个钛酸锶薄膜都是120nm厚,紫外光刻后光刻胶有几微米厚,把两个薄膜分别放进6%和18%的磷酸溶液中刻蚀掉裸露出来的钛酸锶薄膜,但半个小时也没什么效果,因为光刻胶不能长时间在白光中,所以半个小时的这么长时间光刻胶也坏了,我看人家酸刻蚀都是几十秒而已,请问我该怎么办? |
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