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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 酸刻蚀钛酸锶薄膜怎么办？
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liy9092

新虫 (初入文坛)

[求助] 酸刻蚀钛酸锶薄膜怎么办？ 已有1人参与

大家好，我的两个钛酸锶薄膜都是120nm厚，紫外光刻后光刻胶有几微米厚，把两个薄膜分别放进6%和18%的磷酸溶液中刻蚀掉裸露出来的钛酸锶薄膜，但半个小时也没什么效果，因为光刻胶不能长时间在白光中，所以半个小时的这么长时间光刻胶也坏了，我看人家酸刻蚀都是几十秒而已，请问我该怎么办？
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1楼 2014-07-10 20:30:00
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exciting73

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

商家已经主动声明此回帖可能含有宣传内容
★ ★ ★ ★ ★
liy9092: 金币+5, ★★★很有帮助 2014-07-17 22:21:04
有没有可能显影不彻底，有残胶在表面
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2楼2014-07-17 15:01:31
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liy9092

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by exciting73 at 2014-07-17 15:01:31
有没有可能显影不彻底，有残胶在表面

应该是不溶于酸
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3楼2014-07-17 22:21:48
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exciting73

金虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by liy9092 at 2014-07-17 22:21:48
应该是不溶于酸...

你不是说别人用酸蚀刻很快嘛？应该有商品化的蚀刻液可以用吧？
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4楼2014-07-18 12:37:42
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