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再见，过去

新虫 (小有名气)

[求助] 关于SEM那些事儿

各位兄弟姐妹，哪位有关于电子束扫描系统（SEM）的相关资料啊，刚开始学习这个，找不到相关的中文资料，所以急求，资料中最好是带有原理的，万分感谢！
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1楼 2014-07-08 15:26:54
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jjjaijj0317

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
再见，过去: 金币+10, 博学EPI+1, ★★★很有帮助 2014-07-09 08:54:20
https://www.docin.com/p-58445208 ... CB3C862F11157B091BA

https://www.doc88.com/p-77788586675.html

https://www.docin.com/p-32438379 ... DA11E4F1AD52B7FDEAC
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新人上路，多多指教。
3楼2014-07-08 18:09:15
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

电子束扫描系统？SEM是扫描电镜啊，电子束扫描系统应该是电子束光刻用的那个
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2楼2014-07-08 18:01:17
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