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再见,过去

新虫 (小有名气)

[求助] 关于SEM那些事儿

各位兄弟姐妹,哪位有关于电子束扫描系统(SEM)的相关资料啊,刚开始学习这个,找不到相关的中文资料,所以急求,资料中最好是带有原理的,万分感谢!

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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

电子束扫描系统?SEM是扫描电镜啊,电子束扫描系统应该是电子束光刻用的那个
2楼2014-07-08 18:01:17
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jjjaijj0317

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
再见,过去: 金币+10, 博学EPI+1, ★★★很有帮助 2014-07-09 08:54:20
新人上路,多多指教。
3楼2014-07-08 18:09:15
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