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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 铝靶为什么会打成这样？
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01170085

木虫 (小有名气)
引用回帖:
9楼: Originally posted by liaofang20 at 2014-07-09 07:57:45
旋转靶，气压波动只是开大电流的时候波动，不开电流或者开很小就不会。如果漏水应该靶转的时候就会有气压波动吧。...

楼主说的对，装完靶后对靶进行保压，如果不漏，在对腔室抽真空至2.0＊10-4mbar左右开靶的旋转，观察BPG的变化是否有波动，如没有，说明靶装配的不漏，靶材表面处理干净，用Ar进行40分钟的溅射把靶表面杂质处理掉，再进行反应溅射，如果还有那就要进行细节分析了

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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11楼2014-07-09 17:00:52
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01170085

木虫 (小有名气)
楼主用铝靶做什么样品呢
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12楼2014-07-09 17:41:01
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liaofang20

银虫 (小有名气)
引用回帖:
12楼: Originally posted by 01170085 at 2014-07-09 17:41:01
楼主用铝靶做什么样品呢

镀Al膜。
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13楼2014-07-10 08:08:10
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xiaoa122

禁虫 (初入文坛)
★
liaofang20: 金币+1, ★有帮助, 应该是挤压靶材，靶材应该没问题，之前用过。 2014-08-07 08:12:26
本帖内容被屏蔽
14楼2014-08-06 14:25:18
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xiaoa122

禁虫 (初入文坛)
本帖内容被屏蔽
15楼2014-08-08 16:38:15
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liaofang20

银虫 (小有名气)
引用回帖:
15楼: Originally posted by xiaoa122 at 2014-08-08 16:38:15
挤压的靶材密度应该没有问题。不知道楼主的阳极是否干净，被薄膜覆盖，导电性很差。...

阳极？没明白
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16楼2014-08-11 13:32:43
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zxy19871129

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
liaofang20: 金币+5, ★有帮助 2014-08-15 08:31:44
应该是漏气了，不然不会颜色变成这样，检漏先，再打磨靶材
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17楼2014-08-13 00:34:29
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bjjydm

新虫 (初入文坛)
看你说的情形是一直在放弧电，靶的表面被严重氧化！
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18楼2014-09-22 16:44:03
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liaofang20

银虫 (小有名气)
引用回帖:
18楼: Originally posted by bjjydm at 2014-09-22 16:44:03
看你说的情形是一直在放弧电，靶的表面被严重氧化！

谢谢
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19楼2014-09-23 08:25:29
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