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liaofang20

银虫 (小有名气)

应助: 3 (幼儿园)
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红花: 1
帖子: 251
在线: 148小时
虫号: 1117067
注册: 2010-10-09
性别: MM
专业: 金属材料表面科学与工程

[求助] 铝靶为什么会打成这样？

我用直流溅射铝，以前用的好好的，最近就是开不起来。开的时候气压波动好大，且靶表面打火，即使用很小的电流溅射很久了还是打火，而且装靶前用砂纸把表面打磨了一遍。把靶拆下来后就成这样了，如图。什么原因会导致靶这样？

IMAG1570.jpg

IMAG1569.jpg

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1楼 2014-07-07 15:05:31

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

01170085

木虫 (小有名气)

应助: 2 (幼儿园)
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专业: 光学

引用回帖:

9楼: Originally posted by liaofang20 at 2014-07-09 07:57:45
旋转靶，气压波动只是开大电流的时候波动，不开电流或者开很小就不会。如果漏水应该靶转的时候就会有气压波动吧。...

楼主说的对，装完靶后对靶进行保压，如果不漏，在对腔室抽真空至2.0＊10-4mbar左右开靶的旋转，观察BPG的变化是否有波动，如没有，说明靶装配的不漏，靶材表面处理干净，用Ar进行40分钟的溅射把靶表面杂质处理掉，再进行反应溅射，如果还有那就要进行细节分析了

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]