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liaofang20银虫 (小有名气)
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铝靶为什么会打成这样?
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我用直流溅射铝,以前用的好好的,最近就是开不起来。开的时候气压波动好大,且靶表面打火,即使用很小的电流溅射很久了还是打火,而且装靶前用砂纸把表面打磨了一遍。把靶拆下来后就成这样了,如图。什么原因会导致靶这样? IMAG1570.jpg IMAG1569.jpg |
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liaofang20
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