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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 铝靶为什么会打成这样？
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liaofang20

银虫 (小有名气)

[求助] 铝靶为什么会打成这样？

我用直流溅射铝，以前用的好好的，最近就是开不起来。开的时候气压波动好大，且靶表面打火，即使用很小的电流溅射很久了还是打火，而且装靶前用砂纸把表面打磨了一遍。把靶拆下来后就成这样了，如图。什么原因会导致靶这样？

铝靶为什么会打成这样？
IMAG1570.jpg


铝靶为什么会打成这样？-1
IMAG1569.jpg
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1楼 2014-07-07 15:05:31
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01170085

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
liaofang20: 金币+1, ★有帮助, 溅射纯金属 2014-07-10 08:07:33
liaofang20: 金币+2, ★有帮助 2014-08-15 08:28:49
引用回帖:
9楼: Originally posted by liaofang20 at 2014-07-09 07:57:45
旋转靶，气压波动只是开大电流的时候波动，不开电流或者开很小就不会。如果漏水应该靶转的时候就会有气压波动吧。...

楼主用的工作气体Ar和反应气体N吧，电源控制模式采用电流控制，如果采用大电流等于提高靶功率，那消耗N会变多，氮分压减少，气压会有波动的，我平时观察气压应该波动不大

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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10楼2014-07-09 16:47:34
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zxmorphology

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
liaofang20: 金币+2, ★有帮助, 本底真空度没问题，只是开铝靶的时候气压有波动，开其他靶时不会，我的镀膜室中有几种靶。 2014-07-07 17:38:15
真空度是否上的去，气流波动是否由系统漏气引起。

[ 发自小木虫客户端 ]
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2楼2014-07-07 17:10:18
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zxmorphology

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
liaofang20: 金币+2, ★有帮助, 原本用砂纸将表面氧化物打掉后在使用小电流清靶，以前也是这样子的。但是这次只要开电源，表面就打火严重。并不像表面一点点氧化物的那种打火。 2014-07-08 08:00:24
铝用砂纸在空气中打磨过程中表面非常容易氧化，是否可以把铝靶浸在放有金刚石微粉的酒精溶液中再用超声清洗仪抛光铝靶表面，而避免被氧化，氧化铝会阻碍表面电子的迁移，使放电困难
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3楼2014-07-07 20:28:40
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
liaofang20: 金币+2, ★有帮助, 靶材使用很多次了，最近两次才这样，致密度应该没问题；也许跟溅射室脏了有些关系，但是靶管一半比较黑，接触靶座位置，另一半没有变黑。 2014-07-08 08:04:12
个人怀疑：（1）铝合金靶材的密度不密实；（2）溅射室脏了，溅射时壁上或其他地方的污物会污染靶材表面。
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4楼2014-07-07 23:57:19
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