应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 铝靶为什么会打成这样？
51/1返回列表
查看: 2323  |  回复: 18
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

liaofang20

银虫 (小有名气)

[求助] 铝靶为什么会打成这样？

我用直流溅射铝，以前用的好好的，最近就是开不起来。开的时候气压波动好大，且靶表面打火，即使用很小的电流溅射很久了还是打火，而且装靶前用砂纸把表面打磨了一遍。把靶拆下来后就成这样了，如图。什么原因会导致靶这样？

铝靶为什么会打成这样？
IMAG1570.jpg


铝靶为什么会打成这样？-1
IMAG1569.jpg
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2014-07-07 15:05:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

01170085

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
liaofang20: 金币+1, ★有帮助, 溅射纯金属 2014-07-10 08:07:33
liaofang20: 金币+2, ★有帮助 2014-08-15 08:28:49
引用回帖:
9楼: Originally posted by liaofang20 at 2014-07-09 07:57:45
旋转靶，气压波动只是开大电流的时候波动，不开电流或者开很小就不会。如果漏水应该靶转的时候就会有气压波动吧。...

楼主用的工作气体Ar和反应气体N吧，电源控制模式采用电流控制，如果采用大电流等于提高靶功率，那消耗N会变多，氮分压减少，气压会有波动的，我平时观察气压应该波动不大

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下 回复此楼
10楼2014-07-09 16:47:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 19 个回答

zxmorphology

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
liaofang20: 金币+2, ★有帮助, 本底真空度没问题，只是开铝靶的时候气压有波动，开其他靶时不会，我的镀膜室中有几种靶。 2014-07-07 17:38:15
真空度是否上的去，气流波动是否由系统漏气引起。

[ 发自小木虫客户端 ]
赞一下 回复此楼
2楼2014-07-07 17:10:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zxmorphology

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
liaofang20: 金币+2, ★有帮助, 原本用砂纸将表面氧化物打掉后在使用小电流清靶，以前也是这样子的。但是这次只要开电源，表面就打火严重。并不像表面一点点氧化物的那种打火。 2014-07-08 08:00:24
铝用砂纸在空气中打磨过程中表面非常容易氧化，是否可以把铝靶浸在放有金刚石微粉的酒精溶液中再用超声清洗仪抛光铝靶表面，而避免被氧化，氧化铝会阻碍表面电子的迁移，使放电困难
赞一下 回复此楼
3楼2014-07-07 20:28:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
liaofang20: 金币+2, ★有帮助, 靶材使用很多次了，最近两次才这样，致密度应该没问题；也许跟溅射室脏了有些关系，但是靶管一半比较黑，接触靶座位置，另一半没有变黑。 2014-07-08 08:04:12
个人怀疑：（1）铝合金靶材的密度不密实；（2）溅射室脏了，溅射时壁上或其他地方的污物会污染靶材表面。
赞一下 回复此楼
4楼2014-07-07 23:57:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 19 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 2JOx3r2CYEgw 2026-08-22 6/300 2026-08-23 00:40 by OEbVnUOu01ol
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 QTy3jDtz1uLt 2026-08-21 8/400 2026-08-22 23:51 by OEbVnUOu01ol
[基金申请] 2026国自然函评费到账 +11 羊腰板 2026-08-21 11/550 2026-08-22 22:03 by lsbin3733
[论文投稿] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 2JOx3r2CYEgw 2026-08-22 3/150 2026-08-22 22:03 by OEbVnUOu01ol
[基金申请] 范进中举一文的中心思想 +3 zjuhero 2026-08-22 4/200 2026-08-22 20:02 by mycsru
[基金申请] 什么时候开奖？ +7 CrisMessi 2026-08-18 8/400 2026-08-22 18:29 by 淀粉搬运工
[基金申请] filecode，4个jtjc了 +13 ziyangfang 2026-08-19 16/800 2026-08-22 17:08 by WH3796
[教师之家] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +4 2JOx3r2CYEgw 2026-08-21 4/200 2026-08-22 16:52 by sunzitan
[基金申请] 放榜前的不淡定 40+4 snowwithsea 2026-08-19 14/700 2026-08-21 23:51 by cratir
[基金申请] 时间戳又变了 +13 wuchongjun 2026-08-20 19/950 2026-08-21 17:21 by 紫杉醇
[基金申请] 让我中一个面上吧！ +11 大萍1987 2026-08-20 13/650 2026-08-21 14:48 by 20120902066
[基金申请] 感觉是下周放榜了 +7 angus9576 2026-08-17 12/600 2026-08-21 13:38 by weiyin
[基金申请] 我面上完蛋了 +7 且听虎啸 2026-08-20 8/400 2026-08-21 12:31 by 酷酷墨镜
[基金申请] 应该是下周三26日公布了吧？ +4 哈哈蛤？ 2026-08-21 4/200 2026-08-21 10:58 by Vivilian
[基金申请] 今天放榜没戏了吧 +9 yuleib84 2026-08-19 11/550 2026-08-21 10:06 by gltch
[基金申请] 今天系统多次维护，明天很可能放榜！ +10 zju2000 2026-08-16 11/550 2026-08-20 20:02 by cl479861084
[基金申请] 时间戳变了，能看出什么问题？ +18 基诺咪客 2026-08-17 23/1150 2026-08-20 17:19 by Godzela
[基金申请] 今天放榜吗？ +14 布布和一二 2026-08-19 15/750 2026-08-19 18:07 by gltch
[基金申请] 明天放榜？ +5 Shxjjxjkx 2026-08-18 5/250 2026-08-18 18:14 by -大大大大大-
[基金申请] 今天维护系统维护 祝所有人 高中 +8 gjjjzhong 2026-08-18 9/450 2026-08-18 13:01 by 家与远方
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭