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中频加热生长蓝宝石晶体的温场问题 已有1人参与
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现在在用导膜法生长蓝宝石晶体,一次提拉多片。遇到的问题是温场不均匀,两片相临近的晶板一个出现温度高,一个出现温度低,让我很郁闷。想问问各位虫友关于中频感应加热的温场都受哪些方面因素的影响?怎么样做才能让温场均匀稳定?温场分布有什么规律?虫友们可不可以提供些这方面的文献? [ 发自手机版 http://muchong.com/3g ] |
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lichun1210
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