| 查看: 1361 | 回复: 12 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
liaofang20银虫 (小有名气)
|
[求助]
铝靶电流不稳定怎么回事 已有6人参与
|
|
|
最近在使用柱状铝靶时，问题连连，铝靶接的直流电源，电流为恒流形式： 其一. 电压低，不正常，可能是由于某地方接触，增大电压时会短路开不起来 其二. 当测量靶时，其中靶一支靶短路（一开始没有短路，开一会后就短路了），另一支靶的电流就很低了，电压很高600V以上了，正常情况应该是400V，即使比较低的电流也相当不稳定，电流跳的不停，不知道怎么回事； 其三. 增加靶电流的时候，炉内气压也增加，而且比较明显。 这三个问题今天还同时出现，咋回事啊  |
回复此楼» 猜你喜欢
材料求调剂
已经有5人回复
-
354求调剂
已经有9人回复
-
化学工程321分求调剂
已经有22人回复
-
考研调剂
已经有3人回复
-
326求调剂
已经有8人回复
-
333求调剂
已经有7人回复
-
一志愿东华大学控制学硕320求调剂
已经有3人回复
-
考研化学学硕调剂，一志愿985
已经有7人回复
-
0703化学调剂
已经有15人回复
-
0703化学调剂 ，六级已过，有科研经历
已经有14人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 直流磁控溅射 溅射无法起弧 靶材刻蚀严重
已经有13人回复
- 磁控溅射电源的电流调不上去是怎么回事？
已经有6人回复
jedi-j
铁杆木虫 (职业作家)
- 应助: 34 (小学生)
- 金币: 6750.8
- 散金: 100
- 红花: 13
- 帖子: 3364
- 在线: 570.3小时
- 虫号: 3083879
- 注册: 2014-03-24
- 专业: 半导体材料
9楼2014-07-08 13:19:31
liaofang20
银虫 (小有名气)
- 应助: 3 (幼儿园)
- 金币: 2174.1
- 散金: 22
- 红花: 1
- 帖子: 251
- 在线: 148小时
- 虫号: 1117067
- 注册: 2010-10-09
- 性别: MM
- 专业: 金属材料表面科学与工程
2楼2014-07-05 10:01:43
3楼2014-07-07 21:30:42
4楼2014-07-08 08:01:32
