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小?|姓胡

银虫 (初入文坛)

[求助] 求助真空蒸镀钴膜(要求纯度较好) 已有2人参与

小弟现在需要使用真空蒸镀仪蒸钴膜,但是蒸出来的钴膜氧含量似乎有点高,哪位大神可以给点建议不?
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磁性薄膜
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772954170

木虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by 小?|姓胡 at 2014-07-05 19:40:16
我现在在考虑你的第三个建议,或者我先用惰性气体填充腔体,再抽真空,你觉得如何?...

好浪费
7楼2014-07-17 14:29:45
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ll2013

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
蒸镀真空度要求比较高,一般最低也要-3次方Pa以下,是不是你的炉体真空度不好,才导致氧含量很高的。
2楼2014-07-05 10:30:43
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
小?|姓胡: 金币+10, 有帮助 2014-07-07 09:50:09
个人建议:一是检查真空蒸镀仪的工作真空度;二是检查靶材的含氧量;三是在溅射室放置一些能与氧优先反应得物质如金属钠,做到李代桃僵。
3楼2014-07-05 10:40:32
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小?|姓胡

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by ll2013 at 2014-07-05 10:30:43
蒸镀真空度要求比较高,一般最低也要-3次方Pa以下,是不是你的炉体真空度不好,才导致氧含量很高的。

真空度达到-4了,应该不是这个原因
磁性薄膜
4楼2014-07-05 19:38:34
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