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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 求助真空蒸镀钴膜（要求纯度较好）
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小?|姓胡

银虫 (初入文坛)

[求助] 求助真空蒸镀钴膜（要求纯度较好） 已有2人参与

小弟现在需要使用真空蒸镀仪蒸钴膜，但是蒸出来的钴膜氧含量似乎有点高，哪位大神可以给点建议不？
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磁性薄膜
1楼 2014-07-03 20:53:09
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小?|姓胡

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by ll2013 at 2014-07-05 10:30:43
蒸镀真空度要求比较高，一般最低也要-3次方Pa以下，是不是你的炉体真空度不好，才导致氧含量很高的。

真空度达到-4了，应该不是这个原因
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磁性薄膜
4楼2014-07-05 19:38:34
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ll2013

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
蒸镀真空度要求比较高，一般最低也要-3次方Pa以下，是不是你的炉体真空度不好，才导致氧含量很高的。
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2楼2014-07-05 10:30:43
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
小?|姓胡: 金币+10, ★有帮助 2014-07-07 09:50:09
个人建议：一是检查真空蒸镀仪的工作真空度；二是检查靶材的含氧量；三是在溅射室放置一些能与氧优先反应得物质如金属钠，做到李代桃僵。
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3楼2014-07-05 10:40:32
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小?|姓胡

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by peterflyer at 2014-07-05 10:40:32
个人建议：一是检查真空蒸镀仪的工作真空度；二是检查靶材的含氧量；三是在溅射室放置一些能与氧优先反应得物质如金属钠，做到李代桃僵。

我现在在考虑你的第三个建议，或者我先用惰性气体填充腔体，再抽真空，你觉得如何？
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磁性薄膜
5楼2014-07-05 19:40:16
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