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铜虫 (初入文坛)

[求助] 镀膜用Si片的型号怎样选择

各位虫友:
       最近想在Si片上制膜,但不知应该选用哪种类型的Si片好,一般磁控溅射镀膜用的Si片的晶向、晶型(N或P型)、粗糙度、平整度、厚度范围大概是多少呢, 我的膜厚大概um级别。
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