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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 镀膜用Si片的型号怎样选择
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xhqg

铜虫 (初入文坛)

[求助] 镀膜用Si片的型号怎样选择

各位虫友：
       最近想在Si片上制膜，但不知应该选用哪种类型的Si片好，一般磁控溅射镀膜用的Si片的晶向、晶型（N或P型）、粗糙度、平整度、厚度范围大概是多少呢， 我的膜厚大概um级别。
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1楼 2014-06-27 16:19:55
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