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镀膜用Si片的型号怎样选择
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各位虫友： 最近想在Si片上制膜，但不知应该选用哪种类型的Si片好，一般磁控溅射镀膜用的Si片的晶向、晶型（N或P型）、粗糙度、平整度、厚度范围大概是多少呢， 我的膜厚大概um级别。 |
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