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Easony至尊木虫 (知名作家)
老顽童
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[求助]
化学气相沉积方面的问题!只要回答的好金币不是问题! 已有1人参与
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碳源气体如果是用载气H2进入反应沉积室,那么如何保证碳源气体的流量和流速的精度?是通过载气的流量和流速么? 碳源气体可能是气态,也可能是液态,液态用载气带蒸汽好理解,但是气态用载气是什么原理呢? 而且液态源用载气能保证进入气体精度么? |
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12楼2014-07-03 21:11:17
Easony
至尊木虫 (知名作家)
老顽童
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- 专业: 无机合成和制备化学

3楼2014-06-26 08:06:32
4楼2014-06-26 09:59:45
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5楼2014-06-26 10:43:57












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