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fishonwave

金虫 (小有名气)

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专业: 电工材料特性及其应用

[求助] 请问SRIM/TRIM软件中没有需要的化合物靶怎么办？已有1人参与

大家好！
请问SRIM/TRIM软件的化合物字典中没有我所需要的化合物，可以自己建立吗？比如我想要SiC，可不可以新建一个layer，然后添加元素Si和C，使其元素计量比为1:1，然后再将其密度改为3.21，这样可以吗？和直接从化合物字典中选取有什么区别？谢谢！

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1楼2014-06-24 10:38:55

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maiery

金虫 (正式写手)

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专业: 粒子物理与核物理实验方法

个人理解，如有错误欢迎大家拍砖。
如果楼主和我一样只关注离子注入深度及其分布，那入射深度个人感觉其实仅和靶材的密度有关（implantation energy一定），如果在compound里面找不到一般的方法也就如lz的一样，这种计算其实就是一个加权平均，如果实际是晶体靶材那SRIM有时是无能为力的，沟道效应是无法在计算中体现的，在compound里面找到靶物的好处是你可以省略disp，latt和surf等能量的查找工作