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fishonwave

金虫 (小有名气)

[求助] 请问SRIM/TRIM软件中没有需要的化合物靶怎么办? 已有1人参与

大家好!
请问SRIM/TRIM软件的化合物字典中没有我所需要的化合物,可以自己建立吗?比如我想要SiC,可不可以新建一个layer,然后添加元素Si和C,使其元素计量比为1:1,然后再将其密度改为3.21,这样可以吗?和直接从化合物字典中选取有什么区别?谢谢!
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sunep07

禁虫 (小有名气)

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4楼2014-10-16 09:58:09
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s_suny

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
fishonwave: 金币+30, ★★★很有帮助, 谢谢您的回答! 2014-07-02 21:36:57
首先SiC在化合物字典里确实存在,但是是我想你问的问题的重点应该是那些不存在的化合物,就SiC在字典里的存在情况而言,和你给的参数没有区别,所以我认为对于字典中不存在的化合物可以按照你说的方法来做。
2楼2014-06-25 08:18:49
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dybsgz

新虫 (正式写手)

化合物的话,你的方法可以。但是混合物呢?比如靶是混合气体分子?
胖子固有一死,或重于泰山,或重于其他山。
3楼2014-09-06 08:41:27
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maiery

金虫 (正式写手)

个人理解,如有错误欢迎大家拍砖。
如果楼主和我一样只关注离子注入深度及其分布,那入射深度个人感觉其实仅和靶材的密度有关(implantation energy一定),如果在compound里面找不到一般的方法也就如lz的一样,这种计算其实就是一个加权平均,如果实际是晶体靶材那SRIM有时是无能为力的,沟道效应是无法在计算中体现的,在compound里面找到靶物的好处是你可以省略disp,latt和surf等能量的查找工作
无欲无求,知足常乐
5楼2015-04-09 20:03:03
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