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fishonwave

金虫 (小有名气)

[求助] 请问SRIM/TRIM软件中没有需要的化合物靶怎么办?已有1人参与

大家好!
请问SRIM/TRIM软件的化合物字典中没有我所需要的化合物,可以自己建立吗?比如我想要SiC,可不可以新建一个layer,然后添加元素Si和C,使其元素计量比为1:1,然后再将其密度改为3.21,这样可以吗?和直接从化合物字典中选取有什么区别?谢谢!
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maiery

金虫 (正式写手)

个人理解,如有错误欢迎大家拍砖。
如果楼主和我一样只关注离子注入深度及其分布,那入射深度个人感觉其实仅和靶材的密度有关(implantation energy一定),如果在compound里面找不到一般的方法也就如lz的一样,这种计算其实就是一个加权平均,如果实际是晶体靶材那SRIM有时是无能为力的,沟道效应是无法在计算中体现的,在compound里面找到靶物的好处是你可以省略disp,latt和surf等能量的查找工作
无欲无求,知足常乐
5楼2015-04-09 20:03:03
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maiery

金虫 (正式写手)

引用回帖:
6楼: Originally posted by freedreams30 at 2015-12-13 12:33:39
为什么我用trim计算的时候会有零点出现?
也就是在某一个深度的时候,纵坐标为零????...

如果没有零点出现那反而不正常了。有零点出现意味你的最大射程也就是那一点
无欲无求,知足常乐
7楼2015-12-13 14:18:13
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