| 查看: 1358 | 回复: 1 | ||
heda312木虫 (小有名气)
|
[求助]
关于氧化物薄膜晶体管中的关态电流 已有1人参与
|
| 请问，在氧化物薄膜晶体管中（磁控溅射有源层），什么因素决定了器件的关态电流大小，关态电流与场效应迁移率，阈值和电导等有什么关系，解释的越详细越好，谢谢！！！ |
回复此楼» 猜你喜欢
西安交通大学转化医学研究院蔡文课题组招收2027年秋季入学申请-考核制博士生
已经有0人回复
-
西安交通大学转化医学研究院蔡文课题组招收2027年秋季入学推荐免试硕士生
已经有2人回复
-
无机非金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有297人回复
-
西安交通大学27级硕士招生
已经有3人回复
-
ScaleChem 求这个软件能正常用的pj版
已经有0人回复
-
求博导推荐
已经有1人回复
-
基金放榜前
已经有38人回复
-
Tunnelling and Underground Space Technology(TUST)
已经有1人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 2014年度浙江省自然科学基金拟资助项目清单
已经有14人回复
- 2014年天津市第一批科技计划项目立项公告
已经有19人回复
- 低于材料禁带宽度的光子激发出电子空穴对？求高人指点！
已经有23人回复
- 求大神帮助解释下一薄膜晶体管的输出曲线异常现象
已经有9人回复
- 集成电路为什么在一个半导体wafer上，不怕整个wafer导通吗？
已经有10人回复
- 中国科学院化学研究所2011年自然科学基金批准项目75个 中科院3620个
已经有16人回复
- 求助，物理研究生的专业选择
已经有26人回复
- 求助cnki文章一篇：新型氧化物薄膜晶体管的研究进展
已经有1人回复
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
heda312: 金币+50, ★★★很有帮助 2014-10-14 09:31:27
heda312: 金币+50, ★★★很有帮助 2014-10-14 09:31:27
|
首先看你的氧化物是amorphous还是polycrystalline, 如果你的post-annealing 温度过高，或者材料容易结晶，变成poly由于grain bounday漏电会比较大。如果假设你的是amorphous的IGZO，影响漏电因素太多了，比如你的process control，比如O2/Ar ratio。还有一个还得看绝缘层，off-current有几条path，one from source to drain through channel，one from gate to drain through insulator。 Mobility首先看材料本身特性，还有就是看你如果control the oxygen vacancy，从而决定carrier concentration，carrier concentration对mobility影响很大。如果假设你是enhancement-mode IGZO TFT, 那就是channel/insulator的interface会很重要。 这些基础的东西可以建议看看Wager的Transparent Electronics或者Hosono的相关paper，这些问题早期已解决文章无数。 |
2楼2014-10-14 01:37:00
