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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 【求助】：等离子体的内部温度
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zqy198588339

[交流] 【求助】：等离子体的内部温度

我们超净室里面有一台刻蚀设备，此设备利用等离子体刻蚀半导体材料。
问题是：我们现在没有手段来测量等离子体的内部温度（研究需要知道材料表面的等离子体温度），请问有哪些测量等离子体温度的设备和物品呢？

[ Last edited by zt970831 on 2008-3-26 at 23:49 ]
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1楼 2008-03-26 11:34:17
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guansong826

铜虫 (小有名气)
★
musi429(金币+1,VIP+0):多谢交流~~
我想仪器应该有玻璃窗口吧？可以用红外测温仪来测量温度，在外面就可以，不用安装到里面
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4楼2008-03-26 13:57:57
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元小雪

木虫 (职业作家)
等离子体的温度一般用探针法测量 的。把你的邮箱给我，我把实验讲议发给你，操作不太难，我上周未刚好测过
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无聊的博士
2楼2008-03-26 12:28:57
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元小雪

木虫 (职业作家)
★ ★
musi429(金币+2,VIP+0):多谢交流~
我还是发到这上面来吧，不太大，网络硬般我不会用。
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无聊的博士
3楼2008-03-26 12:44:14
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元小雪

木虫 (职业作家)
★ ★
lvzhu2007(金币+2,VIP+0):感谢您的交流，欢迎常来物理版:-)
这样太贵,并且不太准,用探针可以测到某一点的温度
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无聊的博士
5楼2008-03-26 18:31:16
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