| 查看: 421 | 回复: 4 | |||
| 当前主题已经存档。 | |||
[交流]
【求助】：等离子体的内部温度
|
|||
|
我们超净室里面有一台刻蚀设备，此设备利用等离子体刻蚀半导体材料。 问题是：我们现在没有手段来测量等离子体的内部温度（研究需要知道材料表面的等离子体温度），请问有哪些测量等离子体温度的设备和物品呢？ [ Last edited by zt970831 on 2008-3-26 at 23:49 ] |
回复此楼» 猜你喜欢
投稿精细化工
已经有6人回复
-
博士读完未来一定会好吗
已经有36人回复
-
之前让一硕士生水了7个发明专利，现在这7个获批发明专利的维护费可从哪儿支出哈？
已经有10人回复
-
博士申请都是内定的吗？
已经有9人回复
-
心脉受损
已经有8人回复
-
读博
已经有5人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
元小雪
木虫 (职业作家)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 贵宾: 0.947
- 金币: 2216.5
- 散金: 2484
- 红花: 2
- 帖子: 3767
- 在线: 124.5小时
- 虫号: 471521
- 注册: 2007-12-01
- 性别: MM
- 专业: 物理/
2楼2008-03-26 12:28:57
元小雪
木虫 (职业作家)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 贵宾: 0.947
- 金币: 2216.5
- 散金: 2484
- 红花: 2
- 帖子: 3767
- 在线: 124.5小时
- 虫号: 471521
- 注册: 2007-12-01
- 性别: MM
- 专业: 物理/
3楼2008-03-26 12:44:14
4楼2008-03-26 13:57:57
元小雪
木虫 (职业作家)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 贵宾: 0.947
- 金币: 2216.5
- 散金: 2484
- 红花: 2
- 帖子: 3767
- 在线: 124.5小时
- 虫号: 471521
- 注册: 2007-12-01
- 性别: MM
- 专业: 物理/
5楼2008-03-26 18:31:16