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【求助】：等离子体的内部温度
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我们超净室里面有一台刻蚀设备，此设备利用等离子体刻蚀半导体材料。 问题是：我们现在没有手段来测量等离子体的内部温度（研究需要知道材料表面的等离子体温度），请问有哪些测量等离子体温度的设备和物品呢？ [ Last edited by zt970831 on 2008-3-26 at 23:49 ] |
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