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stephaniepyj

金虫 (小有名气)

[求助] 纳米级氧化硅particle的稳定性问题

各位大侠，现测CMP中的slurry稳定性，初始ph在4.8左右，虽然本身纯particle在此PH区间不稳定，但项目需要此运用，随着时间增长，PH值和meansize就是不稳定，怎么破？我的体系是氧化硅particle，硅烷耦合剂KH902，还有一些抗蚀剂和螯合剂，求方法！
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请叫我萌萌
1楼 2014-06-18 11:48:13
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