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lsyguanghua银虫 (初入文坛)
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[求助]
四氯化硅问题 已有1人参与
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| 想把四氯化硅定量控制进炉子做CVD，用什么办法好？鼓泡貌似也不能精准控制流量？流量计？厂家也不确定~~有经验的指点迷津~~密封性要求，耐腐蚀性要求，第一次遇到，求助求助 |
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shakic 
金虫 (初入文坛)
流量计专家
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2楼2014-06-07 08:31:26