24小时热门版块排行榜    

查看: 564  |  回复: 1

lsyguanghua

银虫 (初入文坛)

[求助] 四氯化硅问题 已有1人参与

想把四氯化硅定量控制进炉子做CVD,用什么办法好?鼓泡貌似也不能精准控制流量?流量计?厂家也不确定~~有经验的指点迷津~~密封性要求,耐腐蚀性要求,第一次遇到,求助求助
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

想飞上天
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

shakic

金虫 (初入文坛)

流量计专家


【答案】应助回帖

99.9999%四氯化硅的定量控制要选用流量计+定量控制仪+电磁阀。
我们有2种方法可以推荐:
1、预算不足,精度要求一般,选精度1.5级的金属转子流量计,材质316L不锈钢,法兰连接;
2、预算充足,精度要求很高,选精度0.2级的科氏力质量流量计,材质316L不锈钢,法兰连接。
具体参数可以提供给我们,协助选型。
2楼2014-06-07 08:31:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 lsyguanghua 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 085700资源与环境308求调剂 +3 墨墨漠 2026-03-18 3/150 2026-03-18 22:35 by bingxueer79
[考研] 一志愿吉林大学材料学硕321求调剂 +4 Ymlll 2026-03-18 6/300 2026-03-18 22:15 by li123456789.
[考研] 328求调剂,英语六级551,有科研经历 +3 生物工程调剂 2026-03-17 7/350 2026-03-18 20:41 by Wangjingyue
[教师之家] 焦虑 +8 水冰月月野兔 2026-03-13 12/600 2026-03-18 15:27 by 咪呜喵呜
[考研] 266求调剂 +5 阳阳哇塞 2026-03-14 9/450 2026-03-18 15:05 by stone_128
[考研] 302求调剂 +10 呼呼呼。。。。 2026-03-17 10/500 2026-03-18 12:45 by Linda Hu
[考研] 304求调剂 +12 小熊joy 2026-03-14 13/650 2026-03-18 12:34 by Linda Hu
[考研] 307求调剂 +3 冷笙123 2026-03-17 3/150 2026-03-18 09:55 by macy2011
[考研] 268求调剂 +7 好运连绵不绝 2026-03-12 8/400 2026-03-17 20:28 by xilongliang
[考研] 材料与化工求调剂 +6 为学666 2026-03-16 6/300 2026-03-17 20:15 by peike
[考研] 211本,11408一志愿中科院277分,曾在中科院自动化所实习 +6 Losir 2026-03-12 7/350 2026-03-17 12:09 by danranxie
[考研] 275求调剂 +4 太阳花天天开心 2026-03-16 4/200 2026-03-17 10:53 by 功夫疯狂
[考研] [导师推荐]西南科技大学国防/材料导师推荐 +3 尖角小荷 2026-03-16 6/300 2026-03-16 23:21 by 尖角小荷
[考研] 0856求调剂 +3 刘梦微 2026-03-15 3/150 2026-03-16 10:00 by houyaoxu
[考研] 本科南京大学一志愿川大药学327 +3 麦田耕者 2026-03-14 3/150 2026-03-14 20:04 by 外星文明
[考研] 289求调剂 +4 这么名字咋样 2026-03-14 6/300 2026-03-14 18:58 by userper
[考研] 中科大材料专硕319求调剂 +3 孟鑫材料 2026-03-13 3/150 2026-03-14 18:10 by houyaoxu
[考研] 招收0805(材料)调剂 +3 18595523086 2026-03-13 3/150 2026-03-14 00:33 by 123%、
[考研] 304求调剂 +7 7712b 2026-03-13 7/350 2026-03-13 21:42 by peike
[考研] 工科材料085601 279求调剂 +8 困于星晨 2026-03-12 10/500 2026-03-13 15:42 by ms629
信息提示
请填处理意见