24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
查看: 575  |  回复: 1

lsyguanghua

银虫 (初入文坛)

[求助] 四氯化硅问题 已有1人参与

想把四氯化硅定量控制进炉子做CVD,用什么办法好?鼓泡貌似也不能精准控制流量?流量计?厂家也不确定~~有经验的指点迷津~~密封性要求,耐腐蚀性要求,第一次遇到,求助求助
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

想飞上天
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

shakic

金虫 (初入文坛)

流量计专家


【答案】应助回帖

99.9999%四氯化硅的定量控制要选用流量计+定量控制仪+电磁阀。
我们有2种方法可以推荐:
1、预算不足,精度要求一般,选精度1.5级的金属转子流量计,材质316L不锈钢,法兰连接;
2、预算充足,精度要求很高,选精度0.2级的科氏力质量流量计,材质316L不锈钢,法兰连接。
具体参数可以提供给我们,协助选型。
2楼2014-06-07 08:31:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 lsyguanghua 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 332求调剂 +14 蕉蕉123 2026-04-10 14/700 2026-04-12 00:27 by 蓝云思雨
[考研] 085400 328分 求调剂 +10 喂你一个大橙子 2026-04-09 14/700 2026-04-11 19:53 by lqspecial
[考研] 274求调剂求调剂 +11 Jachenbingoo 2026-04-06 14/700 2026-04-11 11:37 by 紫曦紫棋
[考研] 080500求调剂 +17 黄宇博 2026-04-06 17/850 2026-04-11 08:36 by zhq0425
[考研] 调剂 化学 307 +21 73372112 2026-04-09 23/1150 2026-04-10 23:53 by wj165256
[考研] 考研调剂 +26 硕星赴 2026-04-09 27/1350 2026-04-10 22:24 by 猪会飞
[考研] 309求调剂 +14 wdhw 2026-04-10 15/750 2026-04-10 21:06 by zhouxiaoyu
[考研] 材料调剂 +5 hzhahg 2026-04-06 5/250 2026-04-10 10:10 by may_新宇
[考研] 本科西工大 0856 324求调剂 +10 wysyjs25 2026-04-09 11/550 2026-04-10 08:37 by 5268321
[考研] 070300化学 求调剂 +13 73372112 2026-04-08 13/650 2026-04-09 20:22 by maddjdld
[考研] 085600材料与化工301分求调剂院校 +33 刺痛jk 2026-04-06 34/1700 2026-04-09 18:31 by hy861222
[考研] 086004 求调剂 309 +7 Yin DY 2026-04-08 7/350 2026-04-09 13:59 by Delta2012
[考研] 308求调剂 +17 墨墨漠 2026-04-06 17/850 2026-04-09 09:25 by 壹往無前
[考研] 土木水利专硕276分求调剂 +6 我想上学!!6 2026-04-05 9/450 2026-04-08 17:45 by 宋小宝HQ
[考研] 化学0703-一志愿211-338分求调剂 +10 vants 2026-04-05 11/550 2026-04-08 16:02 by screening
[考研] 22408 一志愿双一流人工智能300分 四六级,数据分析国奖 +4 zzfeng123 2026-04-06 6/300 2026-04-07 21:02 by zzfeng123
[考研] 专硕085403,291分,有两篇专利,一国一奖 +3 哈吉咪哈吉咪 2026-04-07 3/150 2026-04-07 18:21 by 蓝云思雨
[考研] 319分085702安全工程求调剂 +6 rious 2026-04-05 6/300 2026-04-07 09:42 by jp9609
[考研] 319求调剂 +3 handrui 2026-04-05 3/150 2026-04-06 09:33 by jp9609
[考研] 302分 085601求调剂推荐 +11 zyx上岸! 2026-04-05 11/550 2026-04-05 22:13 by dongzh2009
信息提示
请填处理意见