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lsyguanghua

银虫 (初入文坛)

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[求助] 四氯化硅问题已有1人参与

想把四氯化硅定量控制进炉子做CVD，用什么办法好？鼓泡貌似也不能精准控制流量？流量计？厂家也不确定~~有经验的指点迷津~~密封性要求，耐腐蚀性要求，第一次遇到，求助求助

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想飞上天

1楼 2014-05-31 09:05:12

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shakic

金虫 (初入文坛)

流量计专家

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专业: 流体力学

【答案】应助回帖

99.9999%四氯化硅的定量控制要选用流量计+定量控制仪+电磁阀。
我们有2种方法可以推荐：
1、预算不足，精度要求一般，选精度1.5级的金属转子流量计，材质316L不锈钢，法兰连接；
2、预算充足，精度要求很高，选精度0.2级的科氏力质量流量计，材质316L不锈钢，法兰连接。
具体参数可以提供给我们，协助选型。

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