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lsyguanghua

银虫 (初入文坛)

[求助] 四氯化硅问题 已有1人参与

想把四氯化硅定量控制进炉子做CVD,用什么办法好?鼓泡貌似也不能精准控制流量?流量计?厂家也不确定~~有经验的指点迷津~~密封性要求,耐腐蚀性要求,第一次遇到,求助求助
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shakic

金虫 (初入文坛)

流量计专家


【答案】应助回帖

99.9999%四氯化硅的定量控制要选用流量计+定量控制仪+电磁阀。
我们有2种方法可以推荐:
1、预算不足,精度要求一般,选精度1.5级的金属转子流量计,材质316L不锈钢,法兰连接;
2、预算充足,精度要求很高,选精度0.2级的科氏力质量流量计,材质316L不锈钢,法兰连接。
具体参数可以提供给我们,协助选型。
2楼2014-06-07 08:31:26
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