24小时热门版块排行榜    

北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
查看: 1641  |  回复: 7
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

cltwithky

新虫 (小有名气)

[求助] 求助利用溅射仪生长MgO与SiO2绝缘层为什么达不到绝缘的效果? 已有1人参与

求助,利用溅射仪生长40-50纳米的MgO都不绝缘,生长80nm的SiO2也达不到绝缘的效果,求虫虫们帮助啊!!
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

cord

铁杆木虫 (著名写手)


引用回帖:
5楼: Originally posted by cltwithky at 2014-05-26 22:31:36
一般长时间生长氧化镁或者二氧化硅的时候需要用水冷衬底吗...

看你多长时间了,功率不高,1个小时的话,不需要。
6楼2014-05-27 23:49:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 8 个回答

cord

铁杆木虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
cltwithky: 金币+5, 有帮助 2014-05-26 13:37:13
溅射时离子轰击会导致薄膜中针孔出现,这个会导致很薄的绝缘层达不到绝缘效果。
需要调整你的溅射工艺。
2楼2014-05-23 22:56:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

cltwithky

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by cord at 2014-05-23 22:56:20
溅射时离子轰击会导致薄膜中针孔出现,这个会导致很薄的绝缘层达不到绝缘效果。
需要调整你的溅射工艺。

这个避免针孔除了低气压下生长还需要哪些别的条件吗?
3楼2014-05-24 10:08:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

cord

铁杆木虫 (著名写手)


气压越低一般是离子轰击的影响越大.
还可以调节功率, 或者调整一下位置.
4楼2014-05-27 00:38:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 0703本科郑州大学求调剂 +5 nhj_ 2026-03-25 5/250 2026-03-30 10:37 by 20021109
[考研] 334分 一志愿武理 材料求调剂 +12 李李不服输 2026-03-26 12/600 2026-03-30 10:33 by 我是小康
[考研] 311求调剂 +10 lin0039 2026-03-26 10/500 2026-03-30 10:26 by herarysara
[考研] 材料与化工328分调剂 +9 。,。,。,。i 2026-03-23 9/450 2026-03-30 07:30 by 无际的草原
[考研] 各位老师好,我的一志愿为北京科技大学085601材料专硕 +9 Koxui 2026-03-28 9/450 2026-03-29 20:43 by 无际的草原
[考研] 化学0703 调剂 306分 一志愿211 +7 26要上岸 2026-03-28 7/350 2026-03-29 20:04 by 无际的草原
[考研] 一志愿南昌大学324求调剂 +5 hanamiko 2026-03-29 5/250 2026-03-29 16:46 by 学员8dgXkO
[考研] 070300化学354求调剂 +6 101次希望 2026-03-28 6/300 2026-03-29 12:57 by 无际的草原
[考研] 调剂考研 +3 王杰一 2026-03-29 3/150 2026-03-29 08:09 by fmesaito
[考研] 求调剂 +7 争取九点睡 2026-03-28 8/400 2026-03-28 21:07 by 争取九点睡
[考研] 一志愿南昌大学324求调剂 +7 hanamiko 2026-03-27 7/350 2026-03-28 09:56 by 李上岸0921
[材料工程] 一志愿C9材料与化工专业总分300求调剂 +8 曼111 2026-03-24 9/450 2026-03-28 07:58 by YYYYX1234
[考研] 材料求调剂 一志愿哈工大总分298分,前三科223分 +5 dongfang59 2026-03-27 5/250 2026-03-28 04:53 by wxiongid
[考研] 265求调剂11408 +3 刘小鹿lu 2026-03-27 3/150 2026-03-27 20:53 by nihaoar
[考研] 085600,材料与化工321分,求调剂 +9 大馋小子 2026-03-27 9/450 2026-03-27 14:30 by mmm just
[考研] 305求调剂 +5 哇卢卡库 2026-03-26 5/250 2026-03-27 14:01 by laoshidan
[考研] 调剂推荐 +5 清酒714 2026-03-26 6/300 2026-03-27 11:12 by 不吃魚的貓
[考研] 调剂求收留 +7 果然有我 2026-03-26 7/350 2026-03-27 00:26 by wxiongid
[考研] 中国科学院深圳先进技术研究院-光纤传感课题组招生-中国科学院大学、深圳理工大学联培 +5 YangTyu1 2026-03-26 5/250 2026-03-26 18:27 by 猫咪猫咪呀
[考研] 318求调剂 +3 plum李子 2026-03-23 3/150 2026-03-25 09:42 by 雾散后相遇lc
信息提示
请填处理意见