应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 求助利用溅射仪生长MgO与SiO2绝缘层为什么达不到绝缘的效果？
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
81/1返回列表
查看: 1638  |  回复: 7
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

cltwithky

新虫 (小有名气)

[求助] 求助利用溅射仪生长MgO与SiO2绝缘层为什么达不到绝缘的效果？ 已有1人参与

求助，利用溅射仪生长40-50纳米的MgO都不绝缘，生长80nm的SiO2也达不到绝缘的效果，求虫虫们帮助啊！！
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
1楼 2014-05-23 16:58:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

cord

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
cltwithky: 金币+5, ★有帮助 2014-05-26 13:37:13
溅射时离子轰击会导致薄膜中针孔出现，这个会导致很薄的绝缘层达不到绝缘效果。
需要调整你的溅射工艺。
赞一下 回复此楼
2楼2014-05-23 22:56:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

cltwithky

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by cord at 2014-05-23 22:56:20
溅射时离子轰击会导致薄膜中针孔出现，这个会导致很薄的绝缘层达不到绝缘效果。
需要调整你的溅射工艺。

这个避免针孔除了低气压下生长还需要哪些别的条件吗？
赞一下 回复此楼
3楼2014-05-24 10:08:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

cord

铁杆木虫 (著名写手)
气压越低一般是离子轰击的影响越大.
还可以调节功率, 或者调整一下位置.
赞一下 回复此楼
4楼2014-05-27 00:38:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

cltwithky

新虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by cord at 2014-05-27 00:38:11
气压越低一般是离子轰击的影响越大.
还可以调节功率, 或者调整一下位置.

一般长时间生长氧化镁或者二氧化硅的时候需要用水冷衬底吗
赞一下 回复此楼
5楼2014-05-27 13:31:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

cord

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by cltwithky at 2014-05-26 22:31:36
一般长时间生长氧化镁或者二氧化硅的时候需要用水冷衬底吗...

看你多长时间了，功率不高，1个小时的话，不需要。
赞一下 回复此楼
6楼2014-05-27 23:49:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

cltwithky

新虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by cord at 2014-05-27 23:49:13
看你多长时间了，功率不高，1个小时的话，不需要。...

如果提高衬底温度，二氧化硅或者氧化镁薄膜会变的更加致密吧？会不会提高绝缘效果呢？
赞一下 回复此楼
7楼2014-05-29 15:30:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ddxxqq

禁虫
本帖内容被屏蔽
8楼2025-10-25 13:09:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 cltwithky 的主题更新
81/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 309求调剂 +8 谁不是少年 2026-03-29 8/400 2026-03-30 00:55 by 我是小康
[考研] 294分080500材料科学与工程求调剂 +8 柳溪边 2026-03-26 8/400 2026-03-29 20:42 by 唐沐儿
[考研] 296求调剂 +6 彼岸t 2026-03-29 6/300 2026-03-29 20:22 by 永字号
[考研] 化学工程085602 305分求调剂 +22 RichLi_ 2026-03-25 22/1100 2026-03-29 19:51 by 无际的草原
[考研] 环境工程 085701，267求调剂 +6 minht 2026-03-29 6/300 2026-03-29 16:21 by 学员8dgXkO
[考研] 298求调剂 +3 种圣赐 2026-03-29 3/150 2026-03-29 12:06 by longlotian
[考研] 本科双非材料，跨考一志愿华电085801电气，283求调剂，任何专业都可以 +6 芝士雪baoo 2026-03-28 8/400 2026-03-29 08:16 by 松花缸1201
[考研] 食品工程专硕一志愿中海洋309求调剂 +4 小张zxy张 2026-03-26 8/400 2026-03-28 19:25 by lbsjt
[考研] 复试调剂 +3 raojunqi0129 2026-03-28 3/150 2026-03-28 15:27 by 落睿可思
[考研] 299求调剂 +7 嗯嗯嗯嗯2 2026-03-27 7/350 2026-03-28 13:09 by 唐沐儿
[考研] 266分，求材料冶金能源化工等调剂 +7 哇呼哼呼哼 2026-03-27 9/450 2026-03-28 12:22 by zllcz
[有机交流] 高温高压反应求助 10+4 chibby 2026-03-25 4/200 2026-03-27 21:08 by BT20230424
[考研] 一志愿上海理工能源动力（085800）310分求调剂 +3 zhangmingc 2026-03-27 4/200 2026-03-27 19:01 by 给你你注意休息
[考研] 305求调剂 +5 哇卢卡库 2026-03-26 5/250 2026-03-27 14:01 by laoshidan
[考研] 325求调剂 +5 李嘉图·S·路 2026-03-23 5/250 2026-03-27 00:42 by wxiongid
[考研] 考研一志愿苏州大学初始315（英一）求调剂 +3 sbdksD 2026-03-24 4/200 2026-03-25 18:16 by xcjcqu
[考研] 293求调剂 +7 加一一九 2026-03-24 7/350 2026-03-25 12:02 by userper
[考研] 300分，材料，求调剂，英一数二 +5 超赞的 2026-03-24 5/250 2026-03-24 21:07 by 星空星月
[有机交流] 有机合成求助 20+3 FENGSHUJEI 2026-03-23 5/250 2026-03-24 19:31 by 88817753
[论文投稿] 急发核心期刊论文 +3 贤达问津 2026-03-23 5/250 2026-03-23 17:13 by 妹子不好惹
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭