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求帮忙看XRD图谱 已有1人参与
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小弟在硅片上长氮化物，做了XRD得到下图，第一次做，看不懂，强度很低，不知道怎么去分析，，求哥哥姐姐们指导下。。 感觉测出的效果很差，和文献相差比较远。小弟怀疑是否已经结晶。用的是X‘Pert测得。 另外，测的2θ角度调大后，想看看si基板的图谱，但是没出现，不知是不是小弟测试的方法有问题。氮化物薄膜厚度大概50nm左右。。  |
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