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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 求帮忙看XRD图谱
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weid

银虫 (正式写手)

[求助] 求帮忙看XRD图谱 已有1人参与

小弟在硅片上长氮化物，做了XRD得到下图，第一次做，看不懂，强度很低，不知道怎么去分析，，求哥哥姐姐们指导下。。

感觉测出的效果很差，和文献相差比较远。小弟怀疑是否已经结晶。用的是X‘Pert测得。

另外，测的2θ角度调大后，想看看si基板的图谱，但是没出现，不知是不是小弟测试的方法有问题。氮化物薄膜厚度大概50nm左右。。

求帮忙看XRD图谱
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that's me,a boy,who love the world,love everything.
1楼 2014-05-22 16:28:57
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duckliton

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
扫描的角度太小了。
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2楼2014-05-23 15:26:40
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weid

银虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by duckliton at 2014-05-23 15:26:40
扫描的角度太小了。

设好材料类型，仪器自动调到那个角度，我先初扫大角度然后移到峰值附近细扫的。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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that's me,a boy,who love the world,love everything.
3楼2014-05-23 22:12:15
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duckliton

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by weid at 2014-05-23 22:12:15
设好材料类型，仪器自动调到那个角度，我先初扫大角度然后移到峰值附近细扫的。
...

那你不设材料不行么？直接10度到80度扫描

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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4楼2014-05-24 00:26:25
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