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aricqi

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 456
帖子: 10
在线: 4.3小时
虫号: 1154475
注册: 2010-11-24
专业: 光学

[求助] 请教几个关于MOCVD 的问题已有1人参与

我们组想买一台MOCVD，主要用生科研生长GaAS、InP基的半导体材料。目前正在谈判中。提前考虑一些问题。设备容量6片2英寸片。

需要安装以下MO源和气体源：
TMGa
TMIn
TMAl
TEGa
AsH5
PH3
DEZn
CBr4
SiH4
H2

这些气体的出售厂家或者公司都有哪些？最好能附上联系方式。
能帮我估算下这些源的用量吗？根据我们设备的容量。
源的价格如何？
国产MO源是否可用？

我的联系方式：qiaiyi@semi.ac.cn
谢谢各位，金币有限，奖额比较低，请谅解

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