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请教几个关于MOCVD 的问题 已有1人参与
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我们组想买一台MOCVD，主要用生科研生长GaAS、InP基的半导体材料。目前正在谈判中。提前考虑一些问题。设备容量6片2英寸片。 需要安装以下MO源和气体源： TMGa TMIn TMAl TEGa AsH5 PH3 DEZn CBr4 SiH4 H2 这些气体的出售厂家或者公司都有哪些？最好能附上联系方式。 能帮我估算下这些源的用量吗？根据我们设备的容量。 源的价格如何？ 国产MO源是否可用？ 我的联系方式：qiaiyi@semi.ac.cn 谢谢各位，金币有限，奖额比较低，请谅解 |
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wuyixiangkou
木虫 (正式写手)
- 应助: 23 (小学生)
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- 帖子: 717
- 在线: 134.3小时
- 虫号: 2407206
- 注册: 2013-04-08
- 专业: 能源化工
2楼2014-06-23 11:57:39
