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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 化工设备 » 静设备 » 请教几个关于MOCVD 的问题
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aricqi

新虫 (初入文坛)

[求助] 请教几个关于MOCVD 的问题 已有1人参与

我们组想买一台MOCVD，主要用生科研生长GaAS、InP基的半导体材料。目前正在谈判中。提前考虑一些问题。设备容量6片2英寸片。

需要安装以下MO源和气体源：
TMGa
TMIn
TMAl
TEGa
AsH5
PH3
DEZn
CBr4
SiH4
H2

这些气体的出售厂家或者公司都有哪些？最好能附上联系方式。
能帮我估算下这些源的用量吗？根据我们设备的容量。
源的价格如何？
国产MO源是否可用？

我的联系方式：qiaiyi@semi.ac.cn
谢谢各位，金币有限，奖额比较低，请谅解
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1楼 2014-05-22 09:45:20
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wuyixiangkou

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

虫友你好，我们公司做TMGa TEGa TMAl TMIN，我只做生产，不做外延，所以其他的不知道
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君子当食无所饱，居无所安，敏于事而慎于行
2楼2014-06-23 11:57:39
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