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lzg919530615

金虫 (正式写手)

[求助] 进行光刻之后的刻蚀,有什么腐蚀液能刻蚀掉ITO,而不跟SiO2、SnO2反应? 已有7人参与

进行光刻之后的刻蚀,有什么腐蚀液能刻蚀掉ITO,而不跟SiO2、SnO2反应呢?谢谢!
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babyoflion

金虫 (著名写手)

引用回帖:
10楼: Originally posted by lzg919530615 at 2014-05-27 15:02:14
混合的,有办法吗...

考虑干法轰击吧
11楼2014-05-27 19:20:14
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exciting73

金虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
可以不腐蚀SiO2,但无法不腐蚀SnO2。
2楼2014-05-21 21:57:39
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邪恶的大肉丸

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
ITO=铟锡氧化物,看楼主的意思是要选择性的刻蚀掉铟氧化物,而保留锡氧化物嘛?
3楼2014-05-22 07:35:46
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dianbo118

木虫 (小有名气)

铟锡氧化物是掺杂滴,要去除肯定一起没了亲
4楼2014-05-22 11:07:00
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