应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 进行光刻之后的刻蚀，有什么腐蚀液能刻蚀掉ITO，而不跟SiO2、SnO2反应？
52/1返回列表
查看: 3120  |  回复: 12
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

lzg919530615

金虫 (正式写手)

[求助] 进行光刻之后的刻蚀，有什么腐蚀液能刻蚀掉ITO，而不跟SiO2、SnO2反应？ 已有7人参与

进行光刻之后的刻蚀，有什么腐蚀液能刻蚀掉ITO，而不跟SiO2、SnO2反应呢？谢谢！
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2014-05-21 15:46:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

babyoflion

金虫 (著名写手)
引用回帖:
10楼: Originally posted by lzg919530615 at 2014-05-27 15:02:14
混合的，有办法吗...

考虑干法轰击吧
回复此楼
11楼2014-05-27 19:20:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 13 个回答

exciting73

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
可以不腐蚀SiO2，但无法不腐蚀SnO2。
赞一下 回复此楼
2楼2014-05-21 21:57:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

邪恶的大肉丸

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
ITO=铟锡氧化物，看楼主的意思是要选择性的刻蚀掉铟氧化物，而保留锡氧化物嘛？
赞一下 回复此楼
3楼2014-05-22 07:35:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dianbo118

木虫 (小有名气)
铟锡氧化物是掺杂滴，要去除肯定一起没了亲
赞一下 回复此楼
4楼2014-05-22 11:07:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 13 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭