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hyy2007

木虫 (正式写手)

Dr.

[求助] 二氧化铬薄膜条带加工 已有1人参与

求问大侠们,谁有好的方法将蓝宝石衬底(0001)上生长的二氧化铬薄膜加工成200微米长*20微米宽的条带,薄膜厚度大约为500 nm,只保留所需的条带,其余部分刻除。
文献中使用了负光刻胶曝光,之后反应离子刻蚀(RIE)技术,求问谁有过相关的经验,刻蚀过程的参数如何,有哪些注意事项。O(∩_∩)O谢谢!
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【答案】应助回帖

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感谢参与,应助指数 +1
hyy2007: 金币+6, ★有帮助 2014-05-21 21:36:23
我们可以帮您加工的,您可以具体来电咨询
2楼2014-05-19 15:38:09
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