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hyy2007

木虫 (正式写手)

Dr.

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[求助] 二氧化铬薄膜条带加工已有1人参与

求问大侠们，谁有好的方法将蓝宝石衬底（0001）上生长的二氧化铬薄膜加工成200微米长*20微米宽的条带，薄膜厚度大约为500 nm，只保留所需的条带，其余部分刻除。
文献中使用了负光刻胶曝光，之后反应离子刻蚀（RIE）技术，求问谁有过相关的经验，刻蚀过程的参数如何，有哪些注意事项。O(∩_∩)O谢谢！

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好好学习，天天向上

1楼 2014-05-19 11:16:21

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reccnrain

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【答案】应助回帖

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hyy2007: 金币+6, ★有帮助 2014-05-21 21:36:23

我们可以帮您加工的，您可以具体来电咨询

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