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hyy2007木虫 (正式写手)
Dr.
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[求助]
二氧化铬薄膜条带加工 已有1人参与
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求问大侠们，谁有好的方法将蓝宝石衬底（0001）上生长的二氧化铬薄膜加工成200微米长*20微米宽的条带，薄膜厚度大约为500 nm，只保留所需的条带，其余部分刻除。 文献中使用了负光刻胶曝光，之后反应离子刻蚀（RIE）技术，求问谁有过相关的经验，刻蚀过程的参数如何，有哪些注意事项。O(∩_∩)O谢谢！  |
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2楼2014-05-19 15:38:09
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